工作用热传导真空计的现场计量校准.pdfVIP

工作用热传导真空计的现场计量校准许红张书令唐景远上海市计量测试技术研究院漏气，或者没有太多的闷头以保证系统不暴露在大气下，因此比较多的厂家会象征性地提供整后所测得的真空度，至于这些仪表再接?㊣到单位系统上的规管状况如何却不得而知。家的技术力量不同、层次不同，使得有些真空计还是存在因连接在规管与仪表之间的连接线长短的不同，导致其在连接线上的信号的损失不同，从而出现同样的规管配同样的仪表，对相同的真空所测出的示值也是不一样的。但是有些用户不了解详情，往往是单位现场规管与仪表之间的连接线可能有十几米长，但是送检的时候因为这些连接线埋在走线槽中拿不出????随着我闼市场经济的发展和不断完善，社会改革开放的不断深入和国际交流、贸易的不断增多，人们对产品质量的要求越来越高，如何保证产品质量以满足人们日益提高的消费要求?推笠刀?猿?嗽诓?返纳杓啤⒐ひ丈媳Ｖざ啪??返南忍觳蛔悖?褪且1Ｖけ酒笠导?量标准器具的量值的准确可靠，因此计量器具的检定、校准显得口益重要。真空计虽然不在国家依法管理的计量器具目录?褪脚?疾糠?内，但由于真空应用范围广，如航天航空的空问模拟、电子器件、空调冷冻、汽车工业、化学工业、食品工业的真空包装以及真空镀膜、真空干燥、真空浸渍等等领域，真空都起着至关重用的作用，因此越来越多的企业都将真空计列入了本企业的质量管理文件中，定期送来进行计量校准。??却ǖ颊婵占萍屏啃Ｗ嫉奈侍?真空技术的压强范围现已扩展到低于大气压约十九个数量级，现在还没有哪一种真空计可以满足从大气到???左右如此宽的测量范围。较常用的真空计大致有压阻真空计、热偶真空计、电阻真空计、薄膜真空计、电离真空计、磁悬浮真空计等，其中热偶真空计和电阻真空计在??????校准规范中统称为热传导真空计，测量范围为??ā?????电阻真空计虽然可以显示到大气，但其主要测量范围在??弧??????诘牡缱枵婵占?可以到????????????段?诜直媛室步喜睢?依据??????校准规范在对客户送检的热传导真空计进行计量校准中，我们发现主要存在以下几个问题。??婀苡胍潜聿荒芤灰慌涠允褂茫?砸潜砦薹ㄕ嬲?龅接行У牡髡??我们知道无论是热偶真宅计还是电阻真空计，由于仪表不是线性刻度，且规管具有一定的离散性，因此不同的规管接在同一台仪器上，对于相同的真空它们所测出的真空度是不一样的。热偶真空计需要根据不同的规管调整加热电流，电阻真空计则需要根据不同的规管调整零位和满度，目前有些国外的真空计已经把零位和满度调整放在规管上，这样也就不存在一一配对的问题，但国内生产的电阻真空计基本上还是在控制仪表上调整零位和满度，所以在其控制面板上所作的调整其实是针对具体的规管在作零位和满度的调节。有不少的单位在送检真空计时都不太注意到这一点，有的厂家可能因为单位里真空系统很多，要计量的真空计也很多，要求每一个都拆下来且一一配对工作量大，也有的厂家担心拆装规管会引起系统??只规管来校准所有仪表，其实此时所测的数据都是这些仪表所针对这??只规管调??导适褂玫墓婀苡胍潜碇?涞牧?酉哂胨图斓牧?酉卟煌??虽然已经有厂家生产出了同连接线长短无关的真空计产品，但是由于生产制造真空计厂来，这时他们就会拿专门配备用来送检用的只有几米长的接线来连接，如果此时我们根据该? 连线调整了仪表的零位与满度或加热电流，那么用户再拿回去接原来的连接线，其实这时的仪表的零位与满度或加热电流已发生了变化，原先希望通过送检达到量值的溯源就无法真正实现。??瞧鞑馐杂玫钠?宀煌??在校准规范中明确规定要使用不低于?．?サ牡F?醇觳猓?馐怯捎谌却ǖ颊婵占频?示值是与气体种类有关，其是用氮气来标定的，对于不同的气体其真空度显示是不相同。虽然空气中大部分成分是氮气，但两者还是有差别，有很多真空装置在现场并不使用氦气，如有些大型变压器抽真窄装置，在实际使用中就直接充放空气，真空计测量的气体其实是空气，因此送检时用氮气和现场实际使用空气真空计在示值上究竟有否差别，差别多大，如果不现场试验比较也是无法获取正确信息的。??饩龇椒?针对以上客户在送检中出现的具体问题，我们认为如果能提供现场计量校准也许是一种不错的解决方法，因为在现场直接在每一台设备上做，无论从规管的配对情况，还是连接线以及实际工作气体都还原了仪器工作的真实情况。根据??????婵占屏科骶呒於ㄏ低?框图，热传导真空计可以由二等标准电容薄膜真空计进行直接测量，二等标准薄膜真空计的允许误差为±?％，目前国内和国外生产的薄膜真空计在精度上都能满足此要求，只是用薄膜真空计进行现场校准时需解决薄膜真空计的零漂问题。真空计现场计量校准可以利用设备上的抽气系统，但是有的设备由于腔体较大，校准一台仪表需很长时间，效率不高，而且无法任意控制校准点，因此根据现场计量校准的具体情况，我们自制了一套便携式真空校准系统。