工业4.0——基于GMI效应的传感器概述教程.doc

 PAGE \* MERGEFORMAT 13 论文题目：工业4.0——基于GMI效应的传感器概述 院 系： 信息科学技术学院 专 业： 集成电路工程 论文作者： 李荣良、李辉 工业4.0——基于GMI效应的传感器概述 第一章 绪论 1.1 工业4.0简介 “互联网+制造”就是工业4.0。“工业4.0”是德国推出的概念，美国叫“工业互联网”，我国叫“中国制造2025”，这三者本质内容是一致的，都指向一个核心，就是智能制造。 1.2 工业4.0的一些特点 互联：互联工业4.0的核心是连接，要把设备、生产线、工厂、供应商、产品和客户紧密地联系在一起。 　　数据：工业4.0连接和产品数据、设备数据、研发数据、工业链数据、运营数据、管理数据、销售数据、消费者数据。 　　集成：工业4.0将无处不在的传感器、嵌入式中端系统、智能控制系统、通信设施通过CPS形成一个智能网络。通过这个智能网络，使人与人、人与机器、机器与机器、以及服务与服务之间，能够形成一个互联，从而实现横向、纵向和端到端的高度集成。 　　创新：工业4.0的实施过程是制造业创新发展的过程，制造技术、产品、模式、业态、组织等方面的创新，将会层出不穷，从技术创新到产品创新，到模式创新，再到液态创新，最后到组织创新。 　　转型：对于中国的传统制造业而言，转型实际上是从传统的工厂，从2.0、3.0的工厂转型到4.0的工厂，整个生产形态上，从大规模生产，转向个性化定制。实际上整个生产的过程更加柔性化、个性化、定制化。这是工业4.0一个非常重要的特征。 1.3 工业4.0的技术支柱 工业4.0九大技术支柱包括工业物联网、云计算、工业大数据、工业机器人、3D打印、知识工作自动化、工业网络安全、虚拟现实和人工智能。这九大支柱中会产生无数的商机和上市公司。 1.4 工业4.0的核心 这是一次巨大的产业革命，错过了工业4.0也就错过了这个时代！谁最终赢得第四次工业革命主导权？第四次工业革命以2013年德国汉诺威为标志，宣布这一轮工作革命以智能制造为核心。 巨磁阻抗（GMI）效应概述 2.1 巨磁阻抗效应的定义 巨磁阻抗效应指的磁性材料的交流阻抗随外磁场的变化而显著变化的现象。按照巨磁阻抗效应的定义，巨磁阻抗效应应该用磁性材料的阻抗Z随外磁场Hex的变化曲线Z-Hex来表征。但是由于不同的磁性材料的电阻率相差很大，即使是同种磁性材料制备的样品的厚度和测量长度也无法严格控制，所以通过样品的Z-Hex曲线无法比较不同样品的巨磁阻抗效应的强弱。因此在研究中采用阻抗的相对变化值随外加磁场的变化曲线ΔZ/Z-Hex来表征巨磁阻抗效应。 目前，对巨磁阻抗效应的定标有两种：一种是采用外加磁场为零时的阻抗（Hex = 0）作为参考点，但是因为材料的剩磁状态影响阻抗Z(0)的值，所以这个定义可能不合适；另一种以最大磁场Hmax的阻抗值作为参考点，Hmax的值由实验设备确定，因此Hmax也可能受实验设备的限制。第二种定义： 上式中，Hmax通常是达到饱和阻抗时的外磁场或实验设备所能提供的最大磁场。 2.2 巨磁阻抗效应的研究进展 早在六十年前，Harrison等人就已经发现在外加轴向磁场的作用下，铁磁性细丝的感抗会发生变化，当时把这种物理现象称为磁感应效应。1992年，日本名古屋大学K. Mohri等人发现CoFeSiB非晶丝的两端的感应电压随着外加直流磁场的增加而急剧下降，当时他们测量到的电压是非晶丝感抗部分对应的分量，因此实际上这种现象是磁电感效应。往后的研究表明，铁磁非晶合金的交流电阻也会随外加直流磁场发生明显的变化，为与通常所说的磁阻(MR)效应区分，该效应被称为交流磁阻效应。1994年巴西的Machado等人在Co70.4Fe4.6Si15B1非晶铁磁薄带中观察到了这种交流磁阻效应。K. Mohri等人在综合考虑了磁电感效应和交流磁阻效应后，认为两者是同一物理效应的不同方面，并把磁性材料通以交变电流时，在外磁场作用下交流阻抗会发生显著变化的现象正式命名为巨磁阻抗（GMI）效应。 当外磁场方向发生改变时，GMI曲线左右不对称性的现象称为非对称性巨磁阻抗(AGMI)效应。非对称巨磁阻抗效应可以在测量阻抗时在磁性材料中施加直流偏置电流产生的直流偏置场来获得，也可以在测量阻抗时沿着样品轴向施加交流偏置磁场获得，此外对钴基非晶材料在空气中退火使材料内部出现交换场也能出现非对称性巨磁阻抗(AGMI)效应。由于非对称巨磁阻抗效应提高了线性度和磁场灵敏度，具有较好的应用价值，成为人们研究的一个新热点。 通过设计合适的测量电路或采用合适的测量方法，可以使磁性材料在测量阻抗时形成LC共振和磁力共振，