行业标准《超高纯钛锭》讨论稿.docVIP

GB/T ××××—×××× GB/T ××××—×××× PAGE  PAGE 1 YS/T 2016—0199 ××××-××-××实施 ICS 77.150.50 H 61 YS 发布 中华人民共和国工业和信息化部 ××××-××-××发布 超高纯钛锭 Ultra high-purity titanium ingots （讨论稿） 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 2016—0199 YS/T 2016—0199 PAGE II PAGE I 前 言 本标准首次制定。 本标准由全国有色金属标准化技术委员提出并归口。 本标准起草单位：宁波创润新材料有限公司，宁波江丰电子材料股份有限公司 本标准主要起草人： 吴景晖、姚力军、宋彦明、王学泽、张卫嘉、赵玉林、杜全国、顾斌、苏默瀚、李东侠、邓睿。 PAGE 4 PAGE 3 超高纯钛锭 范围 本标准规定了超高纯钛锭的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同（订单）等内容。 本标准适用于以99.8%海绵钛为原料，经过熔盐电解等工艺制备的钛纯度不低于99.995%的超高纯钛，主要用于集成电路制造。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值  HYPERLINK "/soft/sort024/ys/104184239.html" \t "_blank" GB/T 4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定 GB/T 4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定 GB/T 4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定 YS/T 891-2013 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 要求 成分要求 超高纯钛的成分及杂质元素要求应符合表1规定。 表1 超高纯钛的化学成分表 Ti质量分数不小于（%）99.99599.99999.9995纯度简称4N55N5N5金属杂质质量/10-4%，不大于，Ag0.20.20.1Al5.03.01.0B0.10.10.03Ca1.01.00.5Co1.00.10.1Cr5.03.02.0Cu2.01.01.0Fe7.05.03.0K0.10.10.03Li0.10.10.02Mg1.00.10.05Mn1.00.30.3Mo4.02.01.0Na0.20.10.03Ni5.02.01.0Pb2.02.01.0Si5.02.02.0Sn2.01.01.0Th0.0010.0010.001U0.0010.0010.001V3.02.02.0W1.00.50.1Zn1.00.50.1Zr5.01.00.8杂质总质量分数不大于，10-650105气体元素质量分数不大于，10-6C504040H101010N505050O300250200S101010注1：钛的质量分数为100%减去表中金属杂质实测质量分数总和的余量（不含C、N、O、S、H）。 注2：用户对其他杂质元素要求提供检测数据时，可由双方协商解决。 产品规格 超高纯钛为锭状。如需特殊的粒、棒、板等规格产品时，由供需双方商定。 外观质量 超高纯钛外观呈银白色金属光泽，无氧化色斑，表面平整，无气孔。 几何尺寸与允许偏差 超高纯钛锭尺寸一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产。 试验方法 化学成分的分析方法 金属杂质元素的分析方法:纯度为99.995%、99.999%以及99.9995%的超高纯钛根据YS/T 891-2013标准(辉光放电质谱)测定。 气体元素C、N、O、H等的分析方法按照GB/T 4698相关标准执行, 元素S采用红外碳硫分析仪进行分析。 产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的测量工具进行测量。 外观质量用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。 检验规则 检验和验收 产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。 需方应对收到的产品按本标准的规定进