第十一章 原子发射剐骡谱法(Atomic Emission Spectrometry,简称AES).pptVIP

第十一章 俄歇电子能谱;俄歇电子能谱;AES的特点;AES原理;俄歇跃迁所产生的俄歇电子可以用它跃迁过程中涉及的三个原子轨道能级的符号来标记； 如图1和2所示的俄歇跃迁所产生的俄歇电子可被标记为WXY跃迁。 其中激发空穴所在的轨道能级标记在首位，中间为填充电子的轨道能级，最后是激发俄歇电子的轨道能级。;俄歇电子能谱仪;俄歇电子能谱仪;AES原理;AES原理;AES原理;AES原理;AES原理;俄歇电子能谱的主要应用;俄歇电子能谱图的应用;（1）俄歇电子能谱的定性分析 为了提高高能端俄歇峰的信号强度，可以通过提高激发源电子能量的方法来获得。 在进行定性分析时，通常采取俄歇谱的微分谱的负峰能量作为俄歇动能，进行元素的定性标定。 在分析俄歇电子能谱图时，有时还必须考虑样品的荷电位移问题。一般来说，金属和半导体样品几乎不会荷电，因此不用校准。但对于绝缘体薄膜样品，有时必须进行校准，通常以C KLL峰的俄歇动能为278.0 eV作为基准。在离子溅射的样品中，也可以用Ar KLL峰的俄歇动能214.0 eV来校准。 在判断元素是否存在时，应用其所有的次强峰进行佐证，否则应考虑是否为其他元素的干扰峰。 ;;俄歇电子能谱的定量分析方法很多，主要包括纯元素标样法，相对灵敏度因子法以及相近成分的多元素标样法。 最常用和实用的方法是相对灵敏度因子法。该方法的定量计算可以用下式进行: