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非平衡纳米复合等离子体镀膜法沉积二硫化钼复合膜的摩擦学
第 卷第 期 兵 工 学 报
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年 月
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非平衡纳米复合等离子体镀膜法沉积
二硫化钼复合膜的摩擦学性能的研究
韩成名 周兰英 贾庆莲 郎平
（北京理工大学机械工程及自动化学院，北京， ）
4$$$54
摘要 本文结合国内外固体润滑膜的发展趋势，以及当前材料发展中有关“多相材料”的新理念，提
出了一种新的固体润滑膜沉积方法——— 非平衡纳米复合等离子体镀膜法（ ）。采用该法??功地
,’677
对几种材料（ 、 、 、 等）进行精细的纳米复合，制备的固体润滑膜 ／ 是多相纳米复合
(8, */9 (8,:*/9! (8
膜，其中的 基本上呈准非晶态，掺杂物 与 多相复合，形成了多相的纳米复合薄膜，具有良
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好的摩擦学性能，即摩擦系数低；耐磨损寿命长；抗潮湿氧化能力明显提高。
关键词 电化学工程；非平衡纳米复合等离子体镀膜法； ／ ；纳米复合膜；摩擦学性能
(8,:*/9! (8
中图分类号
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非平衡纳米复合等离子体镀膜法简介 ／ 的化学计量值。中间为既能公转，又能自转
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的旋转式试件架，试件加置偏压，置于镀膜室内的等
非平衡纳米复合等离子体镀膜法（ ）就
,’677 离子区。通过外部控制调节相应工艺参数，控制所
是在特殊的工艺参数条件下，对数种、甚至十几种不
镀膜层的成分比、颗粒度及其他相关技术参数，从而
同的材料进行精细的纳米复合，从而使仅
!!#= 得到摩擦学性能良好的精细的多相纳米复合
厚的薄膜中包含有数层，甚至十几层多相的纳米复 (8,:
／ 薄膜。
合层的等离子体镀膜工艺。 法如图 所 */9! (8
,’677 44
示，镀膜室四周以
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