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湘潭大学毕业论文
题目: Al掺杂ZnO薄膜晶体管的制备与表征
学 院 :
专 业 : 测控技术与仪器
学 号 :
姓 名 :
指导教师 :
完成日期 : 2013年5月20日 Ⅰ
湘 潭 大 学
毕业论文(设计)任务书
论文题目： Al掺杂ZnO薄膜晶体管的制备与表征
学号： 姓名： 专业： 测控技术与仪器
指导教师： 系主任：
一、主要内容及基本要求
主要内容：了解薄膜晶体管TFT的概念、应用及发展趋势。掌握脉冲激光沉积法制备Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的流程和关键技术。调研了Al掺杂氧化锌材料微观结构和电学性能的测试分析方法，并对所制备的Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的相关性能进行表征与分析。通过查阅文献资料和运用所学理论知识，对实验结果进行初步的分析。培养查阅文献和综合分析与解决问题的能力。
基本要求：
1. 文献调研掌握薄膜晶体管TFT材料的概念、应用及发展趋势；
2. 掌握Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的制备和表征方法；
3. 掌握相关实验结果的处理和分析方法。
二、重点研究的问题
1. 研究掺杂对薄膜材料微观结构的影响；
2. 研究掺杂对薄膜材料电学性能的影响。
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