扫描电子显微镜及电子探针研讨.pptx

纳米材料的形貌分析;背散射电子强度与组成样品的原子序数有关，得到原子序数的信息 分析释放的X射线，得到更多元素信息;扫描电镜形貌分析优点： 高的分辨率。~ 1 nm 有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调； 有很大的景深，视野大，成像富有立体感 试样制备简单。 配有X射线能谱仪装置，可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。 ;二、扫描电镜的工作原理 “光栅扫描，逐点成像”。;三、扫描电镜的构造 电子光学系统 信号收集及显示系统 真空系统和电源系统 ;（一）电子光学系统 由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。 其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。 ;电子枪 扫描电子显微镜的电子枪有热阴极电子枪和场发射电子枪两种。普通热阴极电子枪产生的电子源直径为20-50μm；六硼化镧热阴极电子枪产生的电子源直径为1-10μm；而场发射电子枪产生的电子源直径可达0.01-0.1μm。 ;普通热阴极或六硼化镧阴极电子枪都属于热发射电子枪，而场发射电子枪则属于冷发射电子枪。;聚光镜 功能是将来自电子的束斑逐级聚光缩小，使原来直径50μm的束斑缩小到几个纳米的细小斑点。 扫描电镜一般有三个聚光镜，第一、二聚光镜属强激磁透镜，起汇