水平方向静电悬浮系统的数学模型与仿真.pdfVIP

第 ! 卷 第 # 期 武汉大学学报（工学版） ;/2 ! =/ # $%% 年 ’ 月 ()*+),,-+)* ./0-)12 /3 4051) 6)+7,-8+9: 0* $%% 文章编号：ABA@’’##（$%%）%#@%?@%! 水平方向静电悬浮系统的数学模型与仿真 库少平A ，严C 鹤$ ，胡业发! ，周祖德! （A 武汉理工大学计算机科学与技术学院，湖北 武汉C #!%%B%； $ 华中科技大学电子与信息工程系，湖北 武汉C #!%%B#； ! 武汉理工大学数字制造湖北省重点实验室，湖北 武汉C #!%%B%） 摘要：建立了水平方向静电悬浮非线性系统微分方程形式的数学模型，指明了该微分方程的解是振动周期函 数 采用物理方法求出了振幅的表达式，并???振幅随初始速度的变化特性进行了仿真，结果表明振幅随初始速度 的增大而增大，但不是正比关系 对振动的频率特性进行了一系列仿真研究，结果表明频率与初始条件有关，随 着初始速度增大，频率增高 指出了作正弦振动的条件，并求出了正弦振动周期的表达式，周期的理论计算结果 与仿真结果一致 所得结论对于静电悬浮结构设计有一定指导作用 关键词：静电悬浮；数学模型；仿真 中图分类号：D= B$$C C C 文献标志码： !#$%#’() *+%) ,+ -’.)#’*, */ %)%(#0*-##’( -.-1%,-’*, -2-#% ’, $*0’3*,#) +’0%(#’*, E6 F51/G+)*A ，H= I,$ ，I6 H,31! ，JIK6 J0L,! （A FM5//2 /3 N/OG09,- FM+,)M, 1)L D,M5)/2/*:，4051) 6)+7,-8+9: /3 D,M5)/2/*:，4051) #!%%B%，N5+)1； $ P,G1-9O,)9 /3 (2,M9-+M8 1)L Q)3/-O19+/) ()*+),,-+)*，I01R5/)* 6)+7,-8+9: /3 FM+,)M, 1)L D,M5)/2/*:， 4051) #!%%B#，N5+)1；! E,: S1T/-19/-: /3 P+*+912 U1)031M90-+)* /3 I0T,+ V-/7+)M,，4051) 6)+7,-8+9: /3 D,M5)/2/*:，4051) #!%%B%，N5+)1） 45-#0(#：D5, L+33,-,)9+12 ,W019+/)@3/-O,L O195,O19+M12 O/L,2 /3 95, )/)2+),1- 8:89,O /3 ,2,M9-/8919+M 808G,)8+/) +) 5/-+R/)912 L+-,M9+/) +8 ,891T2+85,L Q9 +8 G/+)9,L /09 9519 95, 8/209+/) /3 95, L+33,-,)9+12 ,W019+/) +8 1 G,-+/L+M 30)M9+/) D5, ,XG-,88+/) /3 95, 1OG2+90L, +8 L,-+7,L T: 95, G5:8+M12 O,95/L F+O0219+/) +8 *+7,)；1)L 95, -,8029 85/Y8 9519 95, 1OG2+90L, T,M/O,8 T+**,- Y+95 95, +)M-,18+)* /3 95, /-+*+)12 7,2/M+9:，T09 )/9 G-/G/-9+/)122: 8,@ -+,8 /3 8+O0219+/) +8 M1--+,L /09 9/ -,7,12 95, 3-,W0,)M: M51-1M9,-+89+M8 /3 95, 7+T-19+/)；1)L 95, -,80298 85/Y 9519 95, 3-,W0,)M: +8 -,2