光刻机同步控制卡DSP与FPGA通信方案设计.pdfVIP

通 信 与 信 息 处 理 Communication and Information Processing 《自动化技术与应用》2016年第 35卷第 1期 光刻机同步控制卡DSP与FPGA通信方案设计★ 张常江 ，宋法质 ，刘 洋 ，宋 跃 ，陈兴林 (哈尔滨工业大学 航天学院 ，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要 ：光刻机同步控制卡以DSP为运算处理器 ，以FPGA为各接口接入芯片。为了实现 DSP与各外设接口的通信 ，必须实现 DSP与 FPGA之间数据的准确传输。本文在给出了光刻机同步控制卡接 口逻辑的总体方案下 ，详细介绍了一种基于 EMIF 接口的DSP与FPGA之间通信方案。由仿真和实验结果表明 ，该方案不仅实现了DSP与各外设接口数据的准确、快速传 输 ，而且具有结构灵活、易于调试等特点。 关键词 ：光刻机 ；EMIF(外部存储器接口)；FPGA；数据传输 中图分类号 ：TP273 文献标识码 ：B 文章编号 ：1o03—7241(2016)0卜o065—08 Communication Design of DSP and FPGA Used in Lithography Machine Synchronous Control Board ZHANG Chang-jiang，SONG Fang-zhi，LIU Yang,SONG Yue，CHEN Xing Lin (School ofAstronautics，Harbin Institute of Technology,Harbin 1 5000 1 China) Abstract：Lithography machine’S synchronous control board uses DSP as arithmetic processor and FPGA as the chip that connects to each interface．In order to realize the communication between DSP and the peripheral interface．accurate transmission of data between DSP and FPGA iS indispensable．An overall scheme of interface logic for synchronous control board is presented and a commun ication design for DSP and FPGA introduced based on EMIF in detail．The simulation and experimental results show that this commun ication solution achieves a accurate and fast data transmission betw een DSP and the pe啷heral interface，and also have the features offlexible structure and convenient debugging． Key words：lithography machine；EMIF；FPGA；data communication 1 引言 光刻机作为集成电路芯片的制造设备 ，是超高精度 的控制系统。要实现纳米级的定位精度和同步误差精度 ， 高性能的控制系统是不可或缺的。同步控制卡是控制系 统的核心控制板卡之一 ，它的主要功能是高精度同步误 差控制和整个系统的精确时序协调。运算处理器DSP与 FPGA之间数据的准确、快速的传输 ，对提高整个光刻 机控制系统的精度有着重要的影响。 光刻机同步控制卡采用DSP+FPGA的控制结构 ， ·基金项 目：国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大 科技专项 (2009ZX02207) 收稿 日期 ：2014—1O一27 使用 FPGA作为各接口接入芯片。FPGA自动实时的读 取各个传感器的数值以及上位机所设置的参数 ，然后存 到自身生成的双口RAM 中 ，DSP从双口RAM将其所 需的数据读取出来。该方案只需根据需要更新FPGA的 内部逻辑结构 ，对电路的修改和维护很方便 ，从而扩展 了该硬件电路的应用范围 ，而且在大批量应用时 ，可以 降低成本。与原始的DSP+单独的控制单元的方案相比 有更强的灵活性 ，能够适应多种类型的外部总线连接。 然而DSP+FPGA的控制结构存在着DSP与 FPGA之 间的通信问题。本文在规划了FPGA接口逻辑设计的总 体方案的基础上 ，然后