PECVD_training浅析.ppt

;PECVD 全称： Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition 等离子体增强型化学气相沉积;主要内容;;2.中毒症状： 眼接触：暴露在氨气中会对眼睛造成中度到重度的刺激。 吸入 ：氨气强烈地刺激鼻子、喉咙和肺。症状可能包括灼伤感、咳嗽、喘息加重、气短、头痛及恶心。上呼吸道易受到伤害并导致气管炎(封闭气路)。 皮肤接触：接触蒸汽会造成刺激和灼伤。接触液体会造成组织冻伤并伴有碱性灼伤和脱水。皮肤长期或多次暴露会引起皮炎。 ;3.急救措施： 眼睛接触：用大量的水冲洗，立即进行医疗处理。 吸入：将人员移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则输氧，并迅速进行医务处理 皮肤接触：用大量的水冲洗，立即脱掉被污染的衣服。如皮肤接触液体，脱掉被污染的衣服，用大量温水冲洗几分钟，并立即进行药物处理。 4.个人防护设备： 通风：应有良好的自然通风或 强制排空，保证气体浓度低于暴露极限。 ;对眼的保护: 当搬运钢瓶时要佩戴安全眼镜。当连接、断开气路或打开钢瓶阀时需要防护眼镜和面罩。 对皮肤的保护: 当搬运钢瓶时要使用皮手套。当连接、断开钢瓶时需要橡胶或氯丁手套及化学防护服。当进入大规模泄漏区是需使用全身封闭防护服。 其它防护设备：当搬运钢瓶时建议穿安全鞋，现场需设有安全淋浴及洗眼器。 ;5．消防措施： 立即撤离受影响的区域。移走所有可能燃烧的物品并进行最大限度的防爆通风。如有可能,切断气源。隔离所有泄漏的钢瓶。若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复前一定要安全地泄压并用惰性气体吹扫。氨气可以用喷淋水来控制。 二.硅烷 1．危害性： 硅烷为——无色、具窒息性的气味、会与空气反应、有窒息性影响。与空气接触会自燃，燃烧时会释放出未结晶的二氧化硅浓烟。主要的健康危害是此气体在空气中会自燃且有潜在的剧烈燃烧危害。 ; 高温或火焰时，若钢瓶的释压装置故障可能引起钢瓶爆炸。若硅甲烷在高压下释放或在高流速下，可能与空气形成混合物而发生延迟性的爆炸。 2．中毒症状： ⑴吸 入：吸入高浓度的硅烷会引起头痛、头昏、昏睡、刺激上呼吸道。硅甲烷会刺激粘膜和呼吸系统。高度曝露在硅烷会引起肺炎和肺水肿。 ⑵眼睛接触：硅甲烷会刺激眼睛，硅甲烷会分解产生二氧化硅。眼睛接触到微粒的二氧化硅会感到刺激。 ; ⑶皮肤接触：硅甲烷会刺激皮肤，硅甲烷会分解产生二氧化硅。皮肤接触到微粒的二氧化硅 会感到刺激。 3．急救措施： ⑴吸 入：将患者移至新鲜空气处，立即请人帮忙打电话求救，若意识不清将患者置于复苏姿势，不可喂食，若呼吸停止由受过训练之人员施以人工呼吸，若心跳停止立即施以心肺复苏术，或给予100%氧气，对患者保温，令其舒适，并不时监控其呼吸与脉搏，立即送医并告知医疗人员曾接触此物质。 ; ⑵皮肤接触: 脱掉受污染衣服，用大量水清洗患部，继续用水冲洗至少15分钟，若患者被灼伤，则以冷水冲灼伤局部，保持其凉爽，若患者之颜面、颈部、头部或胸部被灼伤,必须由合格医师紧急救助，结束时用干净衣物覆盖受伤部位，立即送医。 ⑶眼睛接触：使用温水缓慢冲洗15分钟，并不时撑开眼皮冲洗，隐形眼镜必先除去或用水冲出来，用湿润棉棒将眼睛任何可移除之异物移除，冲洗完毕用干净纱布覆盖，并以纸胶布固定，立即送医。 ; 4．消防措施： 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断火源。建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿一般消防防护服。 切断气源，喷洒雾状水稀释，抽排（室内）或强力通风（室外）。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。易燃易爆，在空气中能发生爆炸性燃烧，员工应迅速远离火场，如有条件下穿戴防护服，自给式正压呼吸器，切断气源，不可扑灭明火，如条件不允许，尽量用水冷却气瓶，防止气瓶爆炸。 ; 5．个人防护设备： ⑴呼吸防护：更换钢瓶时可使用正压，全罩式供气呼吸器具，紧急泄漏时，高浓度时吸入会引起窒息，在爆炸范围内禁止人员进入，紧急时使用自给式呼吸器。 ⑵眼睛防护：全罩面镜、安全眼镜。 ⑶皮肤及身体防护：皮手套。紧急状况时穿防火手套及防火衣，泄漏时紧急处理时使用双层手套. ⑷其它保护设备：安全鞋、紧急冲淋器、紧急洗眼器。 ; 6．泄漏紧急处理： 疏散所有人员，切断电源及火源， 如果没有风险关闭气源，打开紧急排风系统，再依据着火物质进行灭火。 此气体在与空气接触时会自燃，释放出稠密的二氧化硅浓烟。切勿将水柱直接喷向燃烧中的硅烷，因其可能形成可点火或爆炸之混合物，而增加危险。灭火人员须戴安全眼镜、空气呼吸器、全身性的防护装备，包括防火衣。;第