基于模糊增强DEA和改进FMEA的制造技术选择方法.pdfVIP

学兔兔 l l lI8 出 基于模糊增强DEA和改 进FMEA的制造技术选择方法 Manufacturingtechnology selection approachbased on fuzzy augm ented DEA and improved FM EA 耿秀丽 ，李易林 ，尤星星 ． G ENG Xiu一¨．Ll Yi-lin，YO UXing-xing (上海理工大学 管理学院，上海 200093) 摘 要 ：制造技术／设备选择是典型的多属性决策问题 ，针对AHP等方法确定评价指标权重具有的主观 性，采用数据包络分析 (DEA)方法评价制造技术。针对传统DEA模型处理不确定性信息能力 差 以及没有考 虑指标权 重范围 的问题 ，提 出基于模 糊期望值 法的模糊增 强DEA模型。考虑到 DEA模型适合将决策单元进行分类 ，同时制造技术 需要进 行风险评估 的问题 ，提出采用改进 故 障模式与影响分析 (FMEA)方法对筛选出的高效率制造技术进行风险评估 ，最终得到优选的 制造技术。改进FMEA方法基于模糊数和灰色关联分析方法，考虑故障成本和维修难度以及各 风险因子的权重 ，避免了传统将风险因子简单相乘的缺陷。以某半导体制造企业的晶圆切割 制造设备选择为例 ，验证了所提方法的有效性。 关键 词 ：制造技术选择 ；多属性决策 ；数据包络分析 ；故障模式与影响分析 ；模糊理论 中图分类号 ：TH122；N94 文献标 识码 ：A 文章编号2(下)-oooi-06 ：1 34(2014)1 009-01 Doi：10．3969／j．issn．1 009-0134．2014．1 2(下)．01 0 引言 型进行求解 。数 学规划 方法需要精确 的数据 ，而 制造技术与信息技 术、管理科 学以及其他科 很多制造 技术选择 问题特 别是先进制造技术选择 学技 术 交叉 融 合 是 制造 技 术／设备 的发 展 趋 势 。制 问题 中 ，难 以获 得精 确 的评 估数 据 。文 献 [31采用 造 技 术 直 接 影 响 到 产 品 的 成 本 、 质 量 及 可 靠性 。 模 糊 决 策 树 方 法 解 决制 造 技 术选 择 问题 。该 方 法 制造技术尤其是先进制造技术的选择 和应用已成 可以重用已有的经验信 息，但是要求制造设计选 为制造企业提高 自身竞争力 ，实现 长远发展战略 择 问 题 有 大 量 的 经验 和 知识 积 累 ，局 限 性 强 。文 的 重 要 手 段 和 途 径 。 目前 常 用 的 制 造 技 术选 择 方 献 [4]采用AHP方法 对 晶 圆 切 割技 术 进 行选 择 。文 法 主 要 有 三 类 ：