基于线性驱动的空气静压导轨定位平台的静态偏载特性.pdfVIP

学兔兔 基于线性驱动的空气静压导轨? 定 位平 台的静态 偏载特性? ? ??????????????????????????? ???????????????????????? ? ??????????????????????????????????????????????????????? 张小龙 ，张君安，刘 波? ???????????????，????????????。 ??????? ?西安工业大 学 机 电工程学 院，西 安 ???????? 摘 要：针对现有定位平台精度较低和设计复杂等的问题，采用有限元差分法对一种新型气浮定位平台? 中的?区动装置进行了数值仿真分析，在????????方程的控制下，通过理论分析动导轨在气膜? 间距变化下的运动机理 ，及在工作过程中产生一定偏载作用时得到驱动装置的承载力。研究? 结果表明 ：气膜间距的变化对承载力有相对明显的影响，动导轨的偏载对整个平台的承载力? 有较为明显的影响。可以为进一步研究气浮定位平台提供理论依据。? 关键词 ：定位平 台 ；有 限差分法 ；气膜间距 ；偏载? 中图分类号 ：?????? 文献标识码 ：?? 文章编 号 ：?????????????????????上?????????? ???：??．????／?．????．???????????．?????．???上?．??? ? 引言? ? 控制方程 的建 立? 高 加 速 度 高 精 度 定 位 平 台是 芯 片 封 装 设 备 的 核 心? ?．??????????方程? 部件之一 ，其运动特 点是进行高加速度 、高精度、快速? 驱动 机 构 的各项 性 能 参数 的计 算 主要 是 以求 解? 往复小行程运动 ，随着芯片集成度的增大，引线间距变? ????????方程 为 基础 ，来揭 示 流 体润 滑 膜 中的 压力 分 布? 小，现有的定位平台多采用伺服 电机．滚动丝杠．螺母机? 规律 。文 中假设 驱 动导 轨 为静 态 ，系统 为定常 状 态 ，将? 构形式 ，