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6.1.1 传感器的定义 6.1.2 传感器的组成 6.1.3 传感器的分类 6.1.4 传感器的数学模型 6.1.5 传感器的基本特征 6.1.6 传感器的发展方向 将被测非电量信号转换为与之有确定对应关系电量输出的器件或装置叫做传感器,也叫变换器、换能器或探测器。 6.1.2 传感器的组成 6.1.2 传感器的组成 6.1.2 传感器的组成 电容法测位移 电感法测厚度 霍尔法计数 霍尔法测转速 半导体法测压力 2. 传感器的动态特性 传感器能测量动态信号的能力用动态特性表示。动态特性是指传感器测量动态信号时,输出对输入的响应特性。传感器动态特性的性能指标可以通过时域、频域以及试验分析的方法确定,其动态特性参数如:最大超调量、上升时间、调整时间、频率响应范围、临界频率等。 2. 传感器的集成化和多功能化 随着微电子学、微细加工技术和集成化工艺等方面的发展,出现了多种集成化传感器。这类传感器,或是同一功能的多个敏感元件排列成线性、面型的阵列型传感器;或是多种不同功能的敏感元件集成一体,成为可同时进行多种参数测量的传感器;或是传感器与放大、运算、温度补偿等电路集成一体具有多种功能——实现了横向和纵向的多功能。 3. 传感器的智能化 “电五官”与“电脑”的相结合,就是传感器的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转换功能,同时还具有记忆、存储、解析、统计处理及自诊断、自校准、自适应等功能。如进一步将传感器与计算机的这些功能集成于同一芯片上,就成为智能传感器。 1)、光栅位移传感器 2)、感应同步器 3)、磁栅位移传感器 (2)、工作原理 莫尔条纹具有如下特点: 1.莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每移动过一个栅距W,莫尔条纹就移动过一个条纹间距B 2.莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为 3.莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。 通过光电元件,可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号,如图所示。 将此电压信号放大、整形变换为方波,经微分转换为脉冲信号,再经辨向电路和可逆计数器计数,则可用数字形式显示出位移量,位移量等于脉冲与栅距乘积。测量分辨率等于栅距。 (2).感应同步器结构 包括定尺和滑尺,用制造印刷线路板的腐蚀方法在定尺和滑尺上制成节距T(一般为2mm)的方齿形线圈。定尺绕组是连续的,滑尺上分布着两个励磁绕组,分别称为正弦绕组和余弦绕组。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时,余弦绕组与定尺绕组错开1/4节距。滑尺和定尺相对平行安装,其间保持一定间隙(0.05~0.2mm)。 2.感应同步器的工作原理 在滑尺的绕组中,施加频率为f(一般为2~10kHz)的交变电流时,定尺绕组感应出频率为f的感应电动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位置有关。 设正弦绕组供电电压为Us,余弦绕组供电电压为Uc,移动距离为x,节距为T,则正弦绕组单独供电时,在定尺上感应电势为 余弦绕组单独供电所产生的感应电势为 3. 测量方法 根据对滑尺绕组供电方式的不同,以及对输出电压检测方式的不同,感应同步器的测量方式有鉴相式和鉴幅式两种工作法。 (1)鉴相式工作法 滑尺的两个励磁绕组分别施加相同频率和相同幅值,但相位相差90o的两个电压,设 (1).磁栅式位移传感器的结构 (2).原理: 在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组,一个为励磁绕组,另一个为拾磁绕组,将高频励磁电流通入励磁绕组时,当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压为: (3).测量方式 A、鉴幅测量方式 如前所述,磁头有两组信号输出,将高频载波滤掉后则得到相位差为π/2的两组信号 两组磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个正(余)弦信号,经信号处理后可进行位置检测。这种方法的检测线路比较简单,但分辨率受到录磁节距λ的限制,若要提高分辨率就必须采用较复杂的信频电路,所以不常采用。 B.鉴相测量方式 将一组磁头的励磁信号移相90°,则得到输出电压为 在求和电路中相加,则得到磁头总输出电压为 一、直流测速发电机 二、光电式速度传感器 三、差动变压器式速度传感器 四、加速度传感器 测速发电机的结构有多种,但原理基本相同。图所示为永磁式测速发电机原理电路图。恒定磁通由定子产生,当转子在磁场中旋转时,电枢绕组中即产生交变的电势,经换向器和电刷转换成正比的直流电势。 光电脉冲测速原理如下图所示。物体以速度V通过光电池的遮挡板时,光电池输出阶跃电压信号,经微分电路形成两个脉冲输出,测出两脉冲之间的时间间隔△t,则可测得速度为

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