微纳驱动与传感课件Project1.docx

Project 1：微纳传感技术探讨 刘德龙 SY1403302（导师：严亮教授） 微纳传感技术作为微纳驱动与传感课程重点涉及技术，是一种非常具备发展潜力的新兴高科技技术，很有必要对其进行初步的认识和深入的探讨。因此，本文就以下几个方面展开对微纳传感技术的论述。 微纳传感定义及发展现状 微纳传感技术是一种由大量不同类型的传感器节点（如传感、信息采集、处理、收发等）所组成的一种智能化的自治网络[1]。由于传感网络必须高度灵敏自治，因此实现这种网络联接的技术和器件也必须非常精确。 早在1962 年, 第一个硅微型压力传感器的问世开创了微纳传感技术的先河[2]。微机电系统（MEMS）的快速发展，极大的促进了传感器性能的提升。作为MEMS最重要组成部分，M EM S 传感器发展最快，一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一，纷纷制定发展计划并投入巨资进行专项研究。 随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展,，M EM S 传感器凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势, 极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。M EM S传感器正逐步占据传感器市场, 并逐渐取代传统机械传感器的主导地位, 新型微纳传感器比如光学电流传感器[3]、加速度计、陀螺仪[4]等已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械加工[5]、化工及医药[6]等各领域的青睐。 微纳传感与微纳成像的区别 微纳传感技术和微纳成像技术都是微机电系统发展的关键技术，二者皆为利用微纳器件进行微小变化量测量。但从基本概念和应用范围上，两者也有些许不同。 个人理解，微纳传感技术概念范围更加广泛，其基本原理可以是可以应用物理量（声学、光学、电学、热学、力学）进行测量，集成优化成的MEMS的物理传感器，比如微纳磁通传感器、微纳热流传感器、微纳压力传感器和微纳噪声传感器等；也可以由化学反应和生物现象进行微纳集成的特种传感器，比如微纳毒性气体传感器、微纳离子浓度传感器、微纳生物浓度传感器和微纳触觉传感器等。应用微纳传感技术的各类传感器也被广泛应用于以上提到的各种行业。 微纳成像技术更侧重通过光学测量或者光学成像的技术特点集成微纳的传感器，比如微纳红外传感器、微纳激光传感器和微纳可见光传感器等。这些传感器的应用也有极大的限制和狭义性。更多应用于基础物理研究、生物医学测量等方面。 可以这么认为，微纳成像技术隶属于微纳传感技术，二者在一定程度上可以等同，尤其是基于物理量测量微纳集成的传感器。但更多的情形从理论上还应该区别对待。 自主设计的微纳传感/成像系统 汽车电子控制系统一直被认为是MEMS传感器应用主要领域之一[7]。微机械陀螺是一种角速率传感器，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统，应用潜力极大。微机械陀螺主要有振动式、转子式等几种，目前应用最多的微机械陀螺属于振动陀螺，其工作原理如图1所示。 图1：振动陀螺结构模型 其基本原理所述如下：质量块p固连在旋转坐标系XOY平面，假定其沿x轴方向以相对旋转坐标系速度v运动，旋转坐标系绕Z轴以角速度ω旋转。因哥氏效应产生哥氏力：FCor=-2m(ω× v)，则质量块p在旋转坐标系的正y轴方向产生哥氏力FCor=-2mω v，其中，m为质量块p的质量。可以看出哥氏力直接与作用在质量块p上的输入角速度ω成正比，并会引起质量块p在y轴方向的位移，获得该信息也即获得了输入角速度的ω信息。 运用此原理制作硅微机械陀螺主要具备可靠性高、功耗低、尺寸小、成本低，并且具备很好的鲁棒性。 MEMS陀螺仪的重要参数包括：分辨率（Resolution）、零角速度输出（零位输出）、灵敏度（Sensitivity）和测量范围。这些参数是评判MEMS陀螺仪性能好坏的重要标志，同时也决定陀螺仪的应用环境。其主要应用于汽车的旋转速度（转弯或者打滚）。 由此，可以设想一种新型应用，即将MEMS陀螺仪应用于无人机姿态测量及故障检测。即根据测量得到的角速度，可以得到无人机当时的速度状态，从而可以判定飞机处于上升、下降、还是悬停状态。联通加速度计就可以对无人机进行故障状态监测。 总结展望 进入新世纪，MEMS传感器技术发展迅速, 新原理、新材料和新技术的研究不断深入，MEMS传感器的新产品不断涌现。目前，MEMS传感器正向高精度、高可靠性、多功能集成化、智能化、微型化和微功耗方向发展。 借助新型材料, 如 SiC、蓝宝石、金刚石及SOI开发出的各种新型高可靠MEMS传感器。与此同时，新的加工技术, 如先进的MEMS制作和组装技术使MEMS传感器体积更小、功耗更低且性能更高。 MEMS传感器一直??研究的热点和重点, 是各国大力发展的核心和前沿技术。引起了各国研