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与 DOI：10．3969／j．issn．1009-9492．2013．09．024 PZT压电式微传感器的结构优化 田开云，谭晓兰 (北方工业大学机电工程学院，北京 100041) 摘要：压电式微传感器的灵敏度除与悬臂梁的尺寸、加工工艺和压电材料本身有关外，还与悬臂梁的截面形状有关。讨论 了 PZT压电式压力微传感器的灵敏度与悬臂梁变截面长度和偏转角度的关系，给出在给定外力F和压电材料用量的前提下，建立 含有约束的数学优化模型，并用遗传算法计算出最优变量值 ，使产生的感应电荷最大，从而提高微传感器的灵敏度。 关键词：微压力传感器；PZT材料；变截面；遗传算法 中图分类号：TP23 文献标识码：A 文章编号：1009—9492(2013109—0091—05 TheStructureOptimization0fPZTM icroPressureSensor