ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合连接机理分析.pdfVIP

维普资讯 学兔兔 第44卷第5期 机 械 工 程 学 报 v。1-44No．5 2008年 5月 CHINESEJOURNAL0FMECHANICALENGNI EERING May 2008 ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合 连接机理分析水 刘翠荣 ，2孟庆森 鲁小莹 刘子建2 (1．太原理工大学材料科学与工程学院 太原 030024； 2．太原科技大学材料科学与工程学院 太原 030024) 摘要：在一定连接工艺参数下，进行 ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合工艺试验，并在万能电子材料试验机上对ZrO2电解 质陶瓷与Al的阳极键合连接接头进行剪切强度试验。采用扫描电镜、超轻元素能谱仪及x射线衍射仪分析连接界面微观组 织、成分分布、界面相结构及剪切断口。试验结果表明，ZrO2的表面活化处理提高了ZrO2A／1的连接性，结合界面在阳极键 合条件下形成高的氧离子迁移率及静电场力是促进结合的主要因素；过渡区ZrO2．SiO2．A12O3的多界面固相反应是结合形成 的主要原因；ZrO2／A1接头的剪切断裂位置位于ZrO2与过渡区的结合界面，启裂区位于ZrO2的近界面区，扩展并终断于Al 与过渡区界面；终断区断 口形貌表明AI／j~．渡区界面具有较高的接合质量。 关键词：ZrO2导电陶瓷 铝 阳极键合 连接界面 微观结构 连接机理 中图分类号：TG457 AnodicBondingM echanism ofZr02Electrolyte CeramicsandAl LIUCuirong · MENGQingsen LUXiaoying LIUZijian (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，Taiyuna UniversityofTechnology,Taiyuna030024； 2．SchoolofMaterialsSciencenadEngineering，Taiyuna UniversiytofSciencenadTechnology,Taiyuna030024) Abstract：ThetechnologicalexperimentofanodicbondingiscarriedoutbetweenZrO2electrolyteceramicsandmemlA1．Under certaintechn ologicalparameters，na donuniversalelecrtonicmaterialtestingmachnie，thetestofshearingsrtengthiscarriedouton htenaodicbondnigjonitbewteenZrO2elecrtolyteceramicsnadmetalA1．Bymenasofhtescnaningelecrtonmicroscope，supre-light elementenregyspecrtometernadX·ray diffractionnistrument，htemicrostructureofjonitinterface，elementdistribution，phase structureofinterfacenadshearingsectionarena alyzed．Experimenatlresultsareasfollows：Th eZrO2surfaceactivatingrteatment hasimprovedhteZrO2／A1j