双轴转台分度误差检测与辨识技术.pdfVIP

Techn010gyandTesf工艺与检测 双轴转台分度误差检测与辨识技术 高秀峰① 孙 璐② (①沈阳机床(集团)设计研究院有限公司，辽宁沈阳110142) (②沈阳铁路局沈阳通信段，辽宁 沈阳110020) 摘 要：以自行研发的小规格五轴联动加工中心为例，分析了双轴转台的各项误差。简单介绍了Renishaw 回转轴测量系统的构成、工作原理，并详细说明了利用该系统检测A轴与C轴分度误差的方法。利 用该方法在我公司的五轴联动加工中心样机上对双轴转台进行分度误差检测，实践证明该方法具有 检测精度高、检测重复性好、检测效率高等优点。 关键词：双轴转台 分度误差 激光干涉仪 检测 中图分类号：TG502．1 文献标识码 ：B Technologyofpositioningerrorsdetectionandidentificationfor2——axistilting——rotarytable GAO Xiufeng① SUN Lu② ， (@ShenyangMachineToolDesignResearchInstituteCorp．，Ltd．，Shenyang110142，CHN； @ShenyangRailwayBureauShenyangCommunicationsSection，Shenyang110020，CHN) Abstract：Takingsmall—sizefive-axismachiningcenterproducedbyourcompanyforexample，theerrorsof2一ax— istilting-rotarytablearestudied．AndcompositionandoperationalprincipleofRenishaw laserinterfer— ometerareintroduced，thetwopositioningerrorsof2-axistilting—rotarytablearemeasuredbyusing Renishaw laserinterferometerandRX10Referencerotaryindexer，anddetectionmethodsoftwopositio— ningerrorsareilluminated indetail．Ithasbeenfoundthatthismeasurementhasadvantagesofhigh measuringaccuracy，repeatabilityofmeasuring，highmeasuringefficiency． Keywords：2-axisTilting—rotary Table；PositioningErrors；LaserInterferometer；DetectionandIdentification 双轴转台的分度误差严重影响复杂工件的加工精 度 ，因此 ，对双轴转台的分度误差进行检测与辨识，对 深层次的影响在于还有可能会导致硅片洗不干净，出 3 结语 现灼伤硅片，或者电动机发热，对机器本身的轴承造成 MB、HCT、NTC等机器，要求硅片切割液和碳化硅 很大的磨损。故不同机器开发设计的系统思维不同， 微粉的配比比例一般控制在 1：0．92～0．95，砂浆密 因而对砂浆的粘度要求也不同，即要求切割液的粘度 度在 1．630～1．635kg／L就可以切得相当理想。即便 也有所不同。 出现配 比比例更大，甚至砂浆密度达到 1．67kg／L左