精密测量技术1-绪论-几何测量教程.doc

精密测量技术 主讲人：蒋永刚 jiangyg@buaa.edu.cn 1  现代制造的内涵 2  微/纳机 械系统 E0512 机构学与 机器人 E0501 E0502 传动机械学 机械测试 理论与技术 E0511 制造系统与自动化 E0510 E0503机械动力学 零件加工制造 E0509 E0504机械结构强度学 机械摩擦学 与表面技术 E0505 E0508 零件成形制造 E0507 E0506 机械仿生学机械设计学 NSFC机械学科代码划分 3  可观测性是制造的前提！ 4  测量的概念 5  测量技术的发展 6  ?精密测量技术是机械工业发展的先决条件之一。 ?从生产发展的历史来看，精密加工精度的提高总是与 精密测量技术的发展水平相关的。 –由于有了千分尺类量具，使加工精度达到了0.01mm； –有了测微比较仪，使加工精度达到了1μm左右； –有了圆度仪等；测量仪器、使加工精度达到了0.1μm; –有了激光干涉仪，使加工精度达到了0.01μm。 ?目前国际上机床的加工水平已能稳定地达到1μm的精 度，正在向着稳定精度为纳米级的加工水平发展，表 面粗糙度的测量则向亚纳米级的水平发展。纳米技术 正在形成新的技术热点。 ?材料、精密加工、精密测量与控制是现代精密机械工 程的三大支柱。 7 2014/11/3  ?目前在基础工业的某些领域，例如研究切削速 度与进刀量对加工误差的影响、摩擦磨损等， 精密测量已成为不可分割的重要组成部分。 ? X射线干涉仪的工作台能在10 nm的分辨力下连 续移动，而且在50 mm的位移行程上的角偏量 为千分之几的秒级。 ?在高纯度单晶硅的晶格参数测量中，以及对生 物细胞、空气污染微粒、纳米材料等基础研究 中，无不需要精密测量技术。 8 2014/11/3  ?激光直写 DWL2000 9  ?计量技术发展的趋向有以下几个方面： ? 1、从实物基准到自然基准 ?米的定义的沿革：“米”作为长度计量单位起 源于1790年，当时法国国民议会采纳了达特兰 提出的“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤 道这段弧长的一千万分之一为一米”的建议。 ? 1799年，巴黎科学院完成了从法国的敦科尔克 经过巴黎到西班牙的巴尔雪隆纳这一段子午线 的实测工作，并按照测量结果所得的1米的长度 制作了一把米尺，作为长度计量基准。这就是 第一个米定义的实物基准称为——档案米尺；10 2014/11/3  ?档案米尺经过近一百年的时间，由于损坏严 重，于1880年国际计量局又制作了30多根(34) 铂铱合金的高精度米尺：经过比对，以第6号 尺取代档案米尺，作为国际长度计量基准， 由国际计量局保存，并命名为“国际米原器 ”。其余的米尺则在1889年第一届国际计量 大会上分发给缔约国，作为各国的长度基准 器。 ?当时米的定义为：米的长度等于在冰点温度 下，米原器两端刻线间的距离。 11 2014/11/3  ?国际米原器 12 2014/11/3  ? 1960年第11届国际计量大会通过了“米”的新 86 定义，以氦的同位素86K( )的波长作为长度 r 计量的自然基准，即原子在真空中的 能 2p -5d 10 5 级跃迁时辐射光波的波长λ = 0m，一米为 波长的1650763.73倍。这一自然标准是米的复 现精度提高到。 ? 1983年第17届国际计量大会通过了以光速常数 为媒介的激光辐射的稳定波长作为长度基准， 使长度基准的复现精度从10-9提高到10-11。 ?米是光在真空中在1/299792458s的时间间隔内 所行进的路程长度。 13 2014/11/3  ? 2、从静态到动态 目前多数计量基准和标准是在静态条件下传递量值 的。由于生产发展的要求，许多精密测量和校准 工作要求在生产过程中进行，计量技术由静态向 动态发展是必然趋势。例如，激光干涉自动量块 检测仪可以实现对实物基准的动态检测。近年来 ，激光、光栅和感应同步器等新技术的推广和应 用，产生了各种类型的机、光、电相结合的自动 检测仪器。特别是近年来微处理器的应用，为计 量的自动化和智能化展示了广阔的背景。 14 2014/11/3  ? 3、从中间向两端扩展 激光技术和量子学在测量中的应用，使测量从常规 的中等长度向两端扩展。 ?现在已能测量几百米的特大尺寸，其测量误差不 超过几十微米。 ?单晶金刚石刀具的圆弧半径、原子力显微镜的前 端曲率半径测量现在也不成问题。 15 2014/11/3  ? 4、从手动向自动化扩展 ?电子技