光学薄膜系统设计-6-1-2012.pptVIP

⑴选择nH、nL、 θg后决定玻璃ng的折射率； ⑵选择玻璃ng的折射率和θg角后，适当搭配nH、nL折射率； ⑶选择了ng、nH、nL后，设计入射角θg，此时棱镜可能不再是立方棱镜。 立方棱镜偏振分光镜光谱 在倾斜入射时，存在如下关系： 平板偏振分光镜光谱 反射带宽仅取决于高低折射率膜层有效折射率的比值，所以S-偏振光的反射带宽大于P-偏振光的反射带宽。 原理：对s,p有效折射率比不同 1.06 波长的平板型偏振棱镜光谱特性 其中： 56.5° Rs Rp 原理：对s,p有效折射率比不同 平板偏振分光镜光谱 平板型偏振分光镜的工作宽度是窄的，通过增加折射率差值和加大光线在基片上的入射角度，可以增加波长的工作宽度。当平板分光镜用作偏振器时，以基片在布鲁斯特角条件下工作是方便的，对于常用的k9基片，θ0=57o。 分光膜的工艺要点： ⑴通常从空气侧入射到金属分光膜上的反射率要高于从玻璃侧入射到金属分光膜上的反射率。含有吸收膜的分光膜使用时光的正确入射方向应与设计时方向一致。 ⑵平板分光镜未镀膜的另一表面由于与分光膜平行，且其上反射率已不能忽视，所以容易产生双象，此时需要对另一面做减反处理。 ⑶介质分光膜有较大的偏振，所以在设计和测量分光镜特性时需要给予注意。 ⑷对分光膜来说，石英晶体及宽光谱监控是比较实用的监控方法。 * 下图为1、2、4、8、16、32、64、128nm铝膜反射率的理论曲线 金属反射膜的反射率 垂直入射: n越小越好，k越大越好 麻烦: cosθ1是虚数。 倾斜入射: 特 性 Al Ag Au 紫外区 反射率 可见区 红外区 B P P M B P 接近于Ag B 接近于Ag 硬度 附着力 稳定性 B P P B P P M P B 三种金属膜的特性和工艺 制备工艺 高的真空度 高的真空度 一般要求 低基板温度 低基板温度 快蒸 快蒸 银膜用作玻璃的前表面镀层: 当银膜作为玻璃后表面的内反射镀层时，通常是在银膜的外面镀一层铜，再镀一层铬，然后刷上保护漆，以防止反射镜的“银变”。 其反射率为： 金属的复折射率可写为 ，光在空气中垂直入射时，其反射率为 如果在金属上镀以折射率为n1、n2的两层 厚度的介质膜，并且n2紧贴金属，那么在垂直入射时，波长 的导纳为 在 下给出的反射率大于纯金属膜的反射率， 比值 愈高，则反射率的增加愈多。 增强金属反射镜 若继续蒸镀第二对这样的介质膜，甚至可使反射率增加到接近99％，不足之处是反射率得到增加的区域是有限的。 蒸发Al膜的反射率曲线（虚线）和Al膜上加镀两对CeO2/MgF2膜层后的反射率曲线（实线） 增强反射镜 G| Al LH LH |Air L- SiO2; H-TiO2 nH=2.2, nL=1.45, (nH/nL)2=2.3 Set AAl=9%, ALH= 9%/2.3 = 4%, ALHLH= 4%/2.3 = 1.5% 二、多层介质高反射膜 在折射率为ng的基片上镀以厚度为 的高折射率的膜层，由于空气/膜层和膜层/基片界面的反射光同位相，使反射率大大增加，对于中心波长，单层膜和基片组合导纳为 ，垂直入射的反射率为 用高、低折射率交替的，每层 厚的介质多层膜能够得到更高的反射率，理论上可以达到100％。 因而，在空气中垂直入射时，中心波长的反射率，也即极大值反射率为： 按双层周期结构理论中可知，采用高低折射率交替的每层膜厚为λ0/4的介质膜堆可以获得高的反射率，随着周期数S→∞，则反射率R→100%。这种周期结构膜堆稍加改造就可得到我们常用的多层介质高反射膜系：