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机泵钳工检修技术培训一 ——干式螺杆真空泵 真空泵基本知识 真空度 真空泵组成 真空泵类型 真空系统中的主泵和前级泵的选择 真空泵的使用范围 一、真空度： 真空的单位 大气压(atm): 标准的大气压力定义为1 atm 帕(Pa): N/m2 (常用单位：Pa) 1atm=1.01325×105Pa 巴(Bar): Dy/cm2, (常用单位：mBar) 乇(Torr):1/760 atm, (常用单位：Torr) 单位换算 1Torr=101325/760=133pa 1Pa=0.0075006Torr 1Mpa=1000000Pa 1Mpa=7500.6Torr -0.1Mpa = -750.06Torr 也就是说真空度为0.1MPa，或750Torr 1mbar(毫巴）=100Pa. 所以 1torr =1.333mbar=133.322Pa 二、真空泵组成： 三、真空泵的类型：（1）按真空获得的方法 （2）按真空获得的方法 主泵(Main pump):在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵； 粗抽泵(Roughing vacuum pump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵；?? 前级泵(Backing vacuum pump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵；?? 维持泵(Holding vacuum pump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度；?? 粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵；?? 高真空泵(High vacuum pump):在高真空范围工作的真空泵；?? 超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump):在超高真空范围工作的真空泵；?? 增压真空泵(Booster vacuum pump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。 四、真空系统中的主泵和前级泵的选择 主 泵:在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵； 前级泵:用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下 的真空泵； 罗茨泵:是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。 主泵选定之后，重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。通常前级泵直接影响主泵的抽气性能，影响真空系统的抽气时间和经济效益。配前级泵时应遵循如下几点规定： (1)前级泵应保证能及时排出主泵所排出的气体流量。 (2)前级泵在主泵(如扩散泵、油增压泵，分子泵和罗茨泵)出口处造成的压强应低于主泵的最大排气压强。 (3)兼作预抽泵的前级泵应满足预抽时间的要求。???? 五、真空泵的使用范围： K-201A/B真空泵系统 技术参数 C-207系统工艺流程 螺杆真空泵结构和原理 使用和维修中存在的问题 螺杆真空泵维护保养和检查表 真空泵解体检修 真空泵重新安装 几种真空泵特性比较 一、技术参数 真空机组型号：JZJDP300-2 主泵： ZJ300 前级泵： DP280-4 极限压力：1Pa 吸气压力：大气压 吸气温度：常温 排气压力：1MPa 吸气流量：1080 m3/h 前级真空泵型号：DP280-4螺杆泵 密封型式：进气端唇形密封排气端机械密封 传动方式：直联（联轴器） 主真空泵型号：ZJ300罗茨泵 密封型式：单端面机械密封 传动方式：直联（联轴器） 二、K-201真空泵性能特点： 二、C-207系统工艺流程 三、螺杆真空泵结构和原理 1、结构和原理说明： 如图所示，螺杆真空泵内装有一对平行的螺旋状的转子（1和2），其中一件转子的旋转方向为右旋，另一件为左旋。两个转子在泵体（9）内通过一对齿轮（3）保持同步反向旋转。转子与转子之间、转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔（4），密封腔的个数等于转子的螺旋圈数。 两个转子在按图中方向旋转时，与吸气口（5）相连的密封腔的空间逐渐变大，气体被吸入并被传送到排气侧，排气侧的密封腔（6）空间在旋转过程中逐渐变小，气体被压缩到排气口（7）。长时间运转时需向泵体及端盖的夹套（8）内通入适量的冷却水以对泵进行冷却。 因压缩热主要在排气侧（6）产生，为了充分冷却转子，在多数工况下可以将适量的空气或其它合适的气体通过掺