电极侧壁绝缘微细孔电解加工工艺研究.pdfVIP

《电加工与模具)2015年增刊1 设计 ·研 究 电极侧壁绝缘微细孑L电解加工工艺研究 陈 伟，高 峰 ，王 津，韩福柱 (清华大学机械工程系 北京市精密／超精密制造装备及控制重点实验室，北京 100084) 摘要 ：将超声振动技术应用于微细孔的电解加工中，以排除间隙内的加工产物 ，然而 ，超声空 化现象产生的冲击力会影响电极表面的绝缘层 ，并加速其破坏。为提高侧壁绝缘电极的使用寿命 ， 采用微弧氧化和阴极电泳工艺在微细钛电极表面形成由陶瓷膜和电泳漆膜组成的双绝缘层。通过 超声振动辅助微细孔电解加工实验 ，对电极侧壁双绝缘层的耐久性进行验证，并分析了超声振动 功率、电解液浓度和加工电压对双膜侧壁绝缘电极微细孔加工精度的影响。实验表明：双绝缘层电 极在超声辅助微细孔电解加工中显示了很强的绝缘耐久性；当超声振动功率超过一定值后，微细 孔电解加工能稳定进行，之后，随着功率的增加 ，孔的精度改善很小。在稳定加工 中，需降低 电解液 浓度和加工电压，从而减小杂散腐蚀 ，保证加．y--：~L的形状精度。 关键词：微孔；双膜侧壁绝缘；超声振动；电解加工 中图分类号：TG662 文献标识码 ：A 文章编号：1009—279X(2015)S1—0028—04 StudyonM icro-holeElectrochemicalM achiningProcesswith Sidewall-insulatedToolElectrode ChenWei，GaoFeng，WangJin，HanFuzhu ． (TsinghuaUniversity，BeijingKeyLabofPrecision／Ultra-precision ManufacturingEquipmentsandControl，Beijing100084，China) Abstract：Ultrasonic vibration technology had been used in the micro holes electrochemical machining (ECM)toexcludeprocessedproductswithinthegap，buttheimpactofultrasoniccavitation influencedthe insulatinglayerson theelectrodesurfaceandaccelerated itsdestruction．Inorderto improvethelifeofthesidewallinsulatedelectrode，thedouble insulatinglayerconsistingofceramic insulatingfilm and electrophoreticpaintfilm wasformedon thesurfaceofthefinetitanium electrode byusingthemicro-arcoxidationandthecathodicelectrophoresis．Throughultrasonicvibrationassisted microholeselectrochemicalmachiningexperiments，durabilityofsidewalldoubleinsulationwasverified andtheeffectsofulrtasonicvibrationpower，electrolyteconcentrationandmachiningvoltageon the microholemachiningaccuracywith thesidewall-insulatedelectrodewasanalyzed．Theexperimental resultsshowedthatthedoubleinsulat