光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 .pdfVIP

学兔兔 第35卷 第 7期 仪 器 仪 表 学 报 V01．35No．7 2014年 7月 ChineseJournalofScientificInstrument Ju1．2014 光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 齐克奇，向 阳 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 长春 130033) 摘 要：根据用于光刻物镜波像差检测的剪切干涉原理，为了满足可见光原理样机对球面波的需求，设计了一种具有大行程、高 精度、可 自锁等优点的球面波发生装置。该球面波是通过针孔衍射的方法产生的。装置在结构上采用了二 自由度串联柔性机 构，并通过一种特殊的压电驱动器进行驱动。通过有限元方法对球面波发生装置在受力状态下的变形情况进行了仿真，分析结 果确认了驱动器的驱动力满足要求，并对结构进行了模态分析。经实验测量 ，得出了该球面波发生装置的位移分辨率，且其输 出位移也被证实具有较为 良好的线性度。 关键词：光刻物镜 ；波像差，剪切干涉 ；针孑L；有限元方法 中图分类号：TP249 文献标识码 ：A 国家标准学科分类代码：460．40 Developmentofsphericalwavegeneratingdevicefor lithographicobjectivewavefrontaberrationdetection QiKeqi，XiangYang (StatekeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics， FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Basedontheprincipleofshearinginterferenceusedforlithographicobjectivewavefrontaberrationdetection，inordertomeet therequirementofthevisible—lightprototypeofrsphericalwave，asphericalwavegeneratingdevicewiththeadvantagesoflongstroke， high—precisionandself-lockingcapabilitywasdesigned．Thesphericalwavewasgeneratedbythemethodofpinholediffraction．A2-DOF serialflexiblemechanism wasadopted，whichwasdrivenbyparticularpiezoactuators．Thedeformationofthesphericalwavegenerating deviceunderforceexertedconditionwassimulatedwiththefiniteelementmethod．Analysisresultsconfirm thatthedrivingforceofthe actuatorscouldmeettherequirements．Themodalcharacteristicsofthestructurewerealsoanalyzed．Throughexperimentalmeasure— ments，thedisplacementresolutionofthesphericalwavegeneratingdevicewasobtained，andthelineari