差动式微力加载装置的结构设计与优化.pdfVIP

20l5年 9月 机械设计与制造工程 Sep．2015 第4_4卷 第9期 MachineDesignandMnaufacturingEngineering Vo1．44No．9 DOI：10．3969／j．issn．2095—509X．2015．09．003 差动式微力加载装置的结构设计与优化 龙 灿 ，王 勇 (合肥工业大学机械与汽车工程学院，安徽 合肥 230009) 摘要：为了在微力标定系统中实现微力稳定加载，设计 了一种基于柔性铰链的等厚度对称差动式 垂直微力加载装置。首先对装置的工作原理以及平衡性做 了详细介绍；然后在对装置结构参数 进行单因素分析后，选取一组参数进行正交试验及极差分析，得出结构参数对输出微力影响的主 次关系和装置的较优参数组合；最后，对优化后的模型进行不同载荷分析，结果表明优化后的微 力加栽装置能够稳定地加载微力且具有 良好的线性关系。 关键词：微力加载；微力标定；有限元分析；垂直微力 中图分类号：TH122 文献标志码 ：A 文章编号：2095—509X(2015)09—0007—04 随着现代科学技术的高速发展，微力传感器 在纳米技术、生物技术、精密机械工程和微机 电 系统 (MEMS)等方面得到越来越广泛的应用_lJ。 虽然传统力传感器的标定方法成熟 ，操作简单， 但对于所需标定力值很小的高精度微力传感器， 尤其是标定所需力的量级要求是 10一一10 N的 微力传感器L2j，传统标定方法则不再适用。国内 外现有的几种微力加载装置都无法稳定地加载微 图1 微力加栽装置的示意图 ，1·Zl= F3 ·Z2 (1) 力。例如，砝码滑轮式 产生的微力受滑轮本身 。 Z，= ·Z2 (2) 的摩擦、滑轮和细线之间的摩擦影响很大；安培 力式 和通电线圈式 J，易受地磁场及环境因素 F ·Z。= (F3一 ) ·Z3 (3) 所以装置 的力缩小倍数为 的影响且操作复杂；气体动态标定法l6必须在真 空环境中使用且过程敏感；悬臂梁变形式 方法 K= = ㈩ 操作要求高，且探针与悬臂梁的对准困难。微力 装置连杆选定为：z。=15mm，l2=108mm， 的稳定加载已成为微力传感器标定的一大难点， l，=9mm，l=225mm。忽略能量损耗，根据公式 因此设计一种能够稳定加载的微力加载装置是当 (4)可得理论上的力缩小倍数为 下所迫切需要的。 = 0 l 微力加载装置的工作原理 新设计的垂直微力加载装置利用柔性铰 链 传递力和位移，运用二级杠杆机构缩小在两 2 微力加载装置分析 输人端施加的差值砝码力，通过改变两输入端的砝 目前常用的柔性铰链有倒圆角直梁形、圆弧 码差值调节输出微力的大小；柔性铰链用于消除摩 形、椭圆形等。在这常用的3种柔性铰链中，圆弧 擦力影响，保证输出微力的稳定。 型铰链转动精度最高，其次是椭圆形铰链，最后是 图1所示为装置的原理示意图，在装置左右两 倒圆角直梁形。在微力