压电MEMS超声换能器研究进展_栾桂冬_看图王.docVIP

——————————————————————————————————————————————— 压电MEMS超声换能器研究进展_栾桂冬_看图王 Vol.31, No.3 2012年5月 Applied Acoustics May, 2012第31卷 第3期 纪念《应用声学》创刊30周年压电MEMS超声换能器研究进展 栾桂冬 （北京大学信息科学技术学院 北京 100871） ? 摘要 MEMS（micro-electromechanical systems）超声换能器（MEMS ultrasonic transducer，简称MUT）是采用微电子和微机械加工技术制作的新型超声换能器。与传统超声换能器相比，MUT具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、频率控制灵活、频带宽、灵敏度高以及易于与电路集成和实现智能化等特点。是超声换能器的重要的研究方向之一。MUT的研究主要包括压电MUT（piezoelectric MUT，简称PMUT）和电容MUT（capacitive MUT，简称CMUT）两个方面。本文概述了PMUT研究的发展进程和研究成果，展望了PMUT的研究和应用前景。 关键词 微机械，压电，超声换能器 中图分类号：TB552 O426 文献标识码：A 文章编号：1000-310X(2012)03-0161-10 Progress in piezoelectric MEMS ultrasonic transducers LUAN Guidong (School of Electronics Engineering and Computer Science, Peking University, Beijing 100871) Abstract MEMS ultrasonic transducers device (MUT) is a new type of ultrasonic transducer which is the use of microelectronics and micromachining technology to manufacture. Compared with conventional ultrasound transducer, the MUT has the advantage of small size, light weight, low cost, low power consumption, high reliability, flexible control of frequency, frequency bandwidth, high sensitivity and easy with the integrated circuit, and implement intelligent. MUT is one of the important research directions of the ultrasonic transducers. MUT research mainly includes two aspects of the piezoelectric MUT (PMUT) and the capacitive MUT (CMUT). This article provides an overview of the development process and research findings of the PMUT,and future research and application prospects of PMUT. Key words Micro-mechanical, Piezoelectric, Ultrasonic transducer 1 引言 MEMS超声换能器（MUT）是采用微电子和微 机械加工技术制作的新型超声换能器。与传统散装 超声换能器相比，MUT具有体积小、重量轻、成 本低、功耗低、可靠性高、频率控制灵活、频带宽、 灵敏度高以及易于与电路集成和实现智能化等特 2012-03-30收稿; 2012-04-06定稿 作者简介: 栾桂冬 (1938- ), 男, 江苏泰州人, 教授, 主要研究方向: 换能器。 ?点。自上世纪90年代以来，MUT发展迅速，品种结构多样。随着MUT的设计和微加工技术的提高和完善，MUT成为一个替代传统散装超声换能器的很有前途的选择，是超声换能器的重要的研究方向之一。近年来，MUT已从原型样品的研究，逐步进入到应用领域