间接连接型音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析.pdfVIP

机械 设计 与制造 第 7期 80 Machinery Design Manufacture 2013年 7月 间接连接型音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析 文永蓬 ，尚慧琳 (1．上海工程技术大学 城市轨道交通学院，上海 201620；2上海应用技术学院 机械工程学院，上海 200235) 摘 要：以一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺为研究对象，分析了加工误差引起的关键参数的性能变异对检测输出 电容的影响。通过对这种微机械陀螺的检测原理介绍并对其动力学进行分析，获得了误差检测模型输出电容表达式。结 果表明，这种微机械 陀螺检测微弹性梁弹性系数的变异引起的不对称对系统输出具有较大的影响，加工中对检测微弹性 梁应引起足够的重视。工作为间接连接型音叉振动式微机械陀螺加工性能的提高具有一定的参考价值、 关键词：微机械；微机械陀螺；间接连接；性能变异；加工误差 中图分类号：TH16 文献标识