精密光学元件表面中频误差的提取研究.pdfVIP

· 信息技术 · 林建兴，等 ·精密光学元件表面中频误差的提取研究 精密光学元件表面 中频误差的提取研究 林建兴 ，高诚辉 ，任志英 (福州大学 a．机械工程及 自动化学院。b．摩擦学研究所，福建 福州 350002) 摘 要：能否准确对精密光学元件表面评价势必影响着光学元件研制与生产．其中中频误差的 提取逐渐显得重要。提 出了利用双树复小波变换 (DT—CWT)对精密光学元件表面提取信号进 行多尺度分解，以定义的均方根波长确定其双树复小波分解次数．进行 中频误差的提取与识 别。此方法应用于精磨和镀膜的精密光学元件表面中．实验证 实该方法不仅可以应用于一维 信号的提取 ，同样也适合三维表面中频波段面形误差的提取。 关键词 ：双树复小波；精密光学元件表面；中频误差；提取 中图分类号：TG58 文献标志码：B 文章编号：1671．5276(2015)05．0085—04 PrecisionOpticalSurfaceIntermediateFrequencyErrorExtraction