5-半导体制造中的化学品(自学为主)要点.pptVIP

王水 浓硝酸和浓盐酸按1:3的体积比混合，即可配成王水。其反应式如下： HNO3 + HCl?H2O + Cl + NOCl 王水中不仅含有硝酸、盐酸等强酸，而且还有初生态（Cl）和氯化亚硝酰NOCl(具强腐蚀性，有毒，对眼部、皮肤和肺部有刺激性。)等强氧化剂。 氯化亚硝酰是一种沸点较低的液体，受热即分解为一氧化氮和原子氯。 王水不但能溶解较活泼金属和氧化物，而且还能溶解不活泼的金、铂等几乎所有的金属。 半导体制造过程中常用的碱 过氧化氢的氧化作用 过氧化氢（H2O2）俗称双氧水，能与水按任何比例混合。双氧水（H–O–O–H）很不稳定，容易分解。在普通条件下将慢慢分解成水和氧气。 H2O2?2H2O + O2↑ 它既可作为氧化剂也可作为还原剂。 在半导体器件生产中主要是利用过氧化氢在酸性和碱性溶液中具有强氧化性来清除有机和无机杂质。 通常在家中就可找到酸和碱：柠檬汁和醋是酸，氨水和溶于水的苏打是碱。 酸和碱的强度和反应用pH值来衡量。该值从0到14，7为中性点。水既不是酸又不是碱，所以其pH值为7。 溶剂是不带电的，pH值为中性。水就是溶剂，实际上它溶解其他物质的能力最强。在晶圆工艺中也经常应用酒精和丙酮。 不同化学物质的PH值 pH 常用化学品 1 汽车蓄电池使用的酸(硫酸) 2