ZrO2（n）陶浇二维超声振动磨削表面特征试验研究.pdfVIP

AI203IZrO2n陶浇二维超声振动磨削表面特征试验研究 ★ 口 吴 雁 ‘ 口 朱训生 口 赵 波 I．上海应用技术学院 机械与 自动化工程学院 上海 200030 2．上海交通大学 机械与动力工程学院 上海 200030 摘 要：基于Al20，／ZrO：()微 一纳米复合陶瓷的 “晶内型”微观结构，进行 了二维超声振动磨削与普通磨削对 比试验 研究。应用AFM重点分析 了微 一纳米复合陶瓷二维超声振动磨削表面特征。AFM轮廓特征分析表明：同样磨削条件下，二 维超声振动磨削表面峰谷较均匀，磨削表面均匀一致性优于普通磨削表面，二维超声振动磨削更易于实现塑性域磨削，可 提高陶瓷磨削表面质量。 关键词：超声 二维振动磨削 微 一纳米复合陶瓷 磨削表面特征 中图分类号：TG580．61 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2008)l2—0054—04 国内外纳米 复相 陶瓷 的研 究表 明：在微米级基体 动 加工 中材 料 去 除机理 1的研究 中发 现 ，硬脆 材 料 塑 中引入纳米分散相进行复合 ，可使材料 的断裂强度 、断 性域超声振动加工表面层成形 的许 多关键 问题 尚不清 裂韧性提高2～4倍 ，最高使用温度提高400～600~C，同 楚 ，制 约 了工程 陶瓷精 密 、超精 密 加 工 的实现 。笔 者 已 时还 可提 高材料 的硬度 、弹 性模量 、抗蠕变性 和抗 疲劳 发表论 文 论述 了二维超声振 动磨 削表 面创 成 机 理 ， 破坏性能 ·，从而使 陶瓷材料 能够在航空航天等高技 认为二维超 声振动磨 削改变 了磨粒运动 的轨迹 ，加强 术领 域 中得 到广泛应 用 。1998～2003年 哈佛 大学 的 了磨粒之 间的干涉 ，加工表面在不断 的 “熨压 ”作用下 ， H_Z．Wut 等人就 AlO3／SiC纳米复相陶瓷进行 了系 表面质量 明显提高。 列研究 ，得 出纳米 复相 陶瓷磨 削表面优于普通 陶瓷磨 本 文 对 采用 放 电等 离 子 烧 结技 术 获 得 的 Al：O ／ 削表面的结论 。笔者所在课题组在对工程 陶瓷超声振 ZrO ()微 一纳米 复合 陶瓷进 行 了二维超 声振动磨 削试 -k山西省青年基金资助项 目(编号：2006021026) 验 ，基 于原子 力显微 镜 (AtomicForceMicroscopy，AFM) 河南省创新人才基金资助项 目(编号：省级重大0421001200) 和 扫 描 电镜 (ScanningElectronMicroscope，SEM)分 析 ， 收稿 日期：2008年9月 对二维超声振动超精密磨削表面微观特征与普通磨 削 感器 阵列采用 SnO：基膜上沉积孤 岛状不连续 的其它 参数 Z【】．2006．Http：／／ ．hwsensor．tom． 氧化物膜 ，讨论 了几种提高灵敏度和选择性 的复合膜方 5 陈治明，王建农．半导体器件的材料物理学基础 【M】．北京： 法 ，试验表明以稀土氧化物薄膜为主的复合膜层对提高 科学出版社，1999：187—192． 传感器灵敏度和选择性有一定效果 ，探讨 了粉末烧结 6 CameliaMateiGhimbeu，ElectrostaticSprayDepositedZincOx- 型传感器与薄膜 型气体传感器敏感机理 的差别 ，薄膜 ideFilmsforGasSensorApplications[J]．AppliedSurfaceScien— 结构决定 了该类传感器有较快 的吸附和解 吸速度 。