寄生式时栅传感器自标定方法研究 .pdfVIP

学兔兔 第 36卷 第 5期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．36No．5 2015年 5月 ChineseJournalofScientificInstrument May．2015 寄生式时栅传感器 自标定方法研究水 高忠华 I．，陈锡侯 ，陈鸿雁 (1．重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 重庆 400054； 2．重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室 重庆 400054； 3．重庆理工大学电子信息与 自动化学院 重庆 400054) 摘 要：研究寄生式时栅传感器 自标定方法，对解决寄生式时栅的现场标定基准和精度保持具有重要理论和实践意义。将 圆 周封闭的自然基准转移到定角的比较值中，再利用傅里叶级数性质将定角平移到幅值和相位中，建立了测量值和误差之间的内 在联系，从而建立 自标定模型。在此基础上进行了实验研究，并与光栅数据进行比对测量来检验 自标定的精度，最终获得优于 6”的 自标定精度。该方法实现了角位移传感器双读数头的自标定，使用条件宽松，与其他方法相 比更易于实现生产现场 的 应用。 关键词：寄生式时栅；自标定 ；定角平移方法；误差分析 中图分类号：TH712 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．40 Investigation on self-calibrationmethodofparasitic typetimegratingsensor GaoZhonghua ，ChenXihou。 ChenHongyan。 ， (J．EngineeringResearchCenterofMechanicalTestingTechnologyandEqu~mem (MinistryofEducation)，ChongqingUniversity ofTechnology，Chongqing400054，China；2．ChongqingKeyLaboratoryofTimeGratingSensingAdvancedTestingTechnology， ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400054，China；3．SchoolofElectronicInformationandAutomation， ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400054，China) Abstract：Self-calibrationmethodofparasitictypetimegratingsensorisinvestigatedwhichisimportantforsolvingcalibratingbasis and keepingaccuracyofparasitictypetimegratingintheoryandpractice．Intrinsicrelationshipsbetweenmeasurementsanderrors areestablishedbyshiftingcircle—closednaturalbasetocomparisonvaluesoffixedangle，whichisshiftedtoamplitudesandphases bypropertiesofFourierseries．A modelofself-calibrationisestablishedandexpe