数字化精密电感测微仪的设计.pdfVIP

学兔兔 数字化精密电感测微仪的设计 许才浩等 数字化精密电感测微仪的设计 许才浩 ，邓小雯 ，邹春龙 ，袁 杰 (湖北汽车工业学院机械工程学院 湖北十堰，442002) (武汉科技大学机械 自动化学院 湖北武汉，430081) 摘 要：传统电感测微仪采用自感或互感变化实现微位移测量，其测量、统计和计算比较繁琐。为实现微位移的自动 测量，基于PCI采集卡和C++Builder编程环境，设计了数字化精密电感测微仪，集数据测量、统计、处理等功能为一体， 分辨力高、工作性能稳定，可应用于高精度微位移测量。完成了测微仪的结构、测量电路和信号接 口电路等设计。并通过 与激光干涉仪比对测量，验证了设计的合理性并达到精度要求。 关键词 ：数字化；电感；测微仪；传感器 Abstract：Thetraditionalinductivemicrometerisakindofgaugeusedtomeasuremicrodisplacementbyusingtheselfinduc— tanceandmutualinductnace．Itsmeasurement，statisticsnadcalculationareverycomplicated．Inordertomeasuremicrodisplace— mentautomatically,adigitalprecisioninductivemicrometerbasedonPCIacquisitioncardandC++Builderprogrammingenviron— menthasbeendesignedwiht highresolutionandsatbleperformna ce，integratedwiht htefunctionofdatameasurement，statisticsand processing．Itcanbeappliedtohtehighprecisionmicrodisplacementmeasurement．Thestructureofmicrometer,measurementcir- cuitnadinterfacecircuitisdesigned．Itverifieshter~ionalityna dmeetshteprecisionbycomparingwihthtelaserinterferometer． Keywords：Digital；Inductance；Micrometer；Sensor 中图分类号：TPH703．8 文献标识码：A 文章编号：1001-9227 (2014)04-0066-03 0 引 言 工作原理：正弦波振荡器输出的信号叠加到测头中由线圈 电感测微仪是测量微小尺寸变化的精密测量仪器n～，它具 和 电位器组成的电感桥路上，微小位移使传感器的测头带动衔 有精度高、工作稳定、结构简单的特点，尤其是测量仪所配用 铁移动，导致线圈内的电感量发生变化，信号经放大，由相敏 的轴向电感式传感器，其外形与机械式百分表相同，适合产品测 检波器检测流过 电表平均 电流的大小和方向来判别位移大小和 量系统的改造与开发，且搭建不同的测量平台，可以完成多种 方 向，得到一个与衔铁位移相对应 的直流 电压信 号，经 测量工作，如检测工件的厚度、内外径，圆度等。传统的电感 AC6616P集成采集卡的A／D转换器输入到IPC，并由应用软件 测微仪体积大，电路复杂，使用不方便，它的二次仪表多为刻 对测量数据处理并显示。 度仪表，其功能与性能受到一定的限制。