段差缝隙综合测量仪校准方法及装置.pdfVIP

精密制造与 自动化 2015年第 4期 2 示值误差校准结果测量不确定度评估 = ， 则标准不确定度为： 2．1 测量方法 u (hz)=0．oo5／~=0．0029mlTl。 以采用上述段差为 10mnl的段差标准器校准 在不确定度评定中段差仪测量重复性估算的标 一 台电感式段差仪示值误差为例，该仪器分辨率 准不确定度也反映了数字显示的量化误差影响，所 0．01mm测量范围0～15lllln最大允许示值误差： 以取u (】)，u (h2)中较大者参与计算，在此处选 MPE：-4-0．051Illi1 择u (^)=2／(1)=0．006mm。 2．2 测量模型 2．4_3段差标准器尺寸的测量不确定度引入的不确 段差仪的示值误差为： 定度分量u(H2)：段差标准器尺寸可由三坐标测量 = 一H 机校准，其测量不确定度： 式中 为段差仪该点的示值误差，h为段差仪读数 U=0．004mii1、k=2、 的平均值， 为段差标准器的尺寸值。 u(g2)=O．004／2=0．002IlllTI 2．3 方差和灵敏系数 2．5 合成标准不确定度 1| u ()=C1u (^)+ U (1-i) 、 ． “c= (h)+u(H1)¨ =0．0062mm C1= 08／ah=1 c2= 08／0H=1 2．6 扩展不确定度 式中：u()为合成标准不确定度，u(h)为段差仪示 U=k×Itc= 2×0．0063=0．012mm，k= 2， 值引入的标准不确定度，u(功 为段差标准器引入的 上述不确定度估算表明： 标准不确定度。 U=0．12mrn(MPE／3)0．05／3， 2．4 计算标准不确定度分量 该校准装置及方法具有合理性和可行性。 2．4．1 被校段差仪测量重复性引入的标准不确定度 分量 (h)：用仪器对段差标准器重复 10次测量读 参考文献 数，计算得单次实验标准S=0．011inln，实测时取3 [1] 朱正德．平整度缝 隙检测技术评述 [J]一 卜海 计量测 次读数的平均值作为测量值，则： 试，2001(2)． u(h1)一0．011／-~／3=0．006111113。 [2] 王庆有．CCD应用技术 [M]．天津： 聿大学出版祉 2000． 2．4．2 被校段差仪数字显示的量化误差引入的不确 [3] 孙长库，何明霞．激光测量技术 [M]．天津：天津大学出 定度分量 (h，)：仪器分辨率的最低有效位w(0．01) 版社．2008． 作为该示值的变化区间，则 =0．005服从均匀分布 (上接第 11页) 参考文献 度表现出了对滚珠丝杠摩擦力矩的显著影响；而接 [1] 张洪国．滚珠丝杠传动副的接触力学模拟与静动态特 触角和粗糙度在不同的实验条件下表现出了不同的 性分析 [D]．吉林：吉林大学，2