超精密齿距偏差测量中测点位置的误差补偿 .pdfVIP

学兔兔 第35卷 第3期 仪 器 仪 表 学 报 VoL 35 No．3 2014年3月 Chinese Joumal of Scientific Instrument Mar．2014 超精密齿距偏差测量中测点位置的误差补偿木 凌四营 ，王立鼎 ，娄志峰’，柳 强’，翟仁文’ (1．大连理T大学精密特种加T教育部重点实验室 大连 1 16024； 2．大连理T大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室 大连 116024) 摘 要：为实现测点位置难于布置到被测齿轮分度网上超精密齿轮齿距偏差的测量，对测头直径及测点位置参数对齿轮齿距 累积偏差测量的影响进行了理论分析与实验研究。首先建立了测头直径和测头位置参数与齿距累积偏差的映射关系；然后推 导 齿距累积偏差测量中的测点位置误差补偿系数；最后通过一组精密测试实验，证实了不同测量网上获取的齿距偏差示值之 间的存在差异，然而通过引入测点位置误差补偿系数将其折算到被测齿轮分度厕上，得到的齿距累积偏差值基本一致。本例 中，不同测量网上两次获取的齿距累积总偏差测量结果的最大差值仅为0．09 m，平均差值仅为0．04 m。实验结果表明了所 建测点位置补偿模型的正确性与超精密齿距偏差测量中测点位置误差补偿方法的可行性。 关键词：齿距偏差；精密测量；标准齿轮；误差补偿 中图分类号：TG86 TG806 TH89 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：420．40 Error compensation of the measurement position in ultra-precision gear pitch deviation measurement Ling Siying‘ Wang Liding 一，Lou Zhifeng‘ Liu Qiang’，Zhai Renwen‘ 。 ， (J．Key Laboratory for PrecisionNon—traditional Machining of Ministry of Education，Dalian University ofTechnology，Dalian 116024，China； 2．Key Laboratoryfor Micro／Nano Technology and System ofLiaoning Province，Dalian University of Technology，Dalian 116024，China) Abstract：In order to solve the problem that the measurement position is difficult to be arranged on the gear refer— ence circle in ultra-precision gear pitch measurement，the theoretical analysis and experiment study were conducted on the effects of the probe diameter and the measurement position parameter on the measurement of the gear pitch CU- mulative deviation．First，the mapping relationship between the prob