低热机械噪声MEMS加速度计设计.pdfVIP

2011年 第3O卷 第 l1期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 89 低热机械噪声 MEMS加速度计设计 杨丹琼 ，陈志龙 ，徐 静 ，钟少龙 ，李四华 ，吴亚明 (1．中国科学院 上海微系统与信息技术研究所，上海200050； 2．中国科学院 研究生院，北京 100040；3．南昌理工学院，江西 南昌330013) 摘 要：介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计 、制作与测试。 器件采用梳齿电容检测方法 ，利用MEMS体硅加工工艺，实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计 不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性，其理论热机械噪声为0．018 H2。加速度计芯 片在大气封装和无阻尼孔情况下 Q值高达455．06，与理论分析结果相符 ，具有较低的热机械噪声。 关键词：加速度计；热机械噪声；体硅工艺；梳齿电容；滑膜阻尼 中图分类号：TP212．1