光栅回转式压电微角度执行器的研究.pdfVIP

58 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2010年 第29卷 第l期 光栅 回转式压 电微角度执行器的研究 张 立，林玉池，赵关蓉，齐永岳，秦 峰 (天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 300072) 摘 要：介绍了一种基于圆光栅检测的回转式压电微角度执行器，采用尺蠖运动原理设计 回转式压电电 动机，运用C8051F005单片机产生四路控制信号，并采用直流放大式驱动电源放大控制信号驱动压电电动 机，并通过圆光栅检测系统实时测量电动机联动盘回转角度，把测量值引入控制环节 ，实现最小步距为 2．26”的全圆周匀速连续转动。 关键词：微角度；压电电动机；尺蠖运动；圆光栅；辨向细分 中图分类号：TH712 文献标识码 ：B 文章编号：1000-9787(2010)01-0058-04 K’一esearCln 0n cir‘cul1ar~rat·i●ng rota·ry Dl●eZ0eleCt』rl●C