基于V-F变换的硅压阻压力传感器的处理电路.pdfVIP

第29卷 第2期 传 感 技 术 学 报 V01．29 No．2 2016年2月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUAT0RS Feb．2016 A Voltage-FrequencyConversionBasedSignalConditioning CircuitofSiliconPiezo．ResistivePressureSensor ZHANGYanqin，XINGWeiwei，】lNGBiao (SchooloflnstrumentationScienceandOpto—ElectronicsEngineering，BeihangUniversity，Beijing100191，China) Abstract：A temperatureself_compensationmethodbasedonbridgeparametersisproposedforsiliconpiezo-resis- tivepressuresensorsinthispaper．A high—precisionprocessingcircuitwithdifferentialinputanddualparameters outputisdesignedtomeasurebridgeparameters．Thecircuitisacharge-balanceddifferentialinputV．Fconvener builtbysimplecomponents．Bridgeparametersarecalculatedbyoutput~equencyofdifferentcircuitconfiguration． Thecircuiteliminatesthecommonmodevoltageerrorandthereference~equeneyaffectbydifferentialinputand referenceresistancerespectively．Thefinaloutputfrequencyisrelatedtothequantitytobemeasuredandtherefer— enceresistor．Itisconfirmedbyexperimentthatthemeasuredaccuracyofthebridgeresistorscanreach0．0068％ andthewholepressuresensors’preciseis0．039％ aftercompensation．whichdemonstratesthatthismethodcanim． provethemeasurementprecisionbyoneorderofmagnitude． Keywords：siliconpiezo—resistivepressuresensors；temperatureself_c0mpensation；Voltage-Frequencyconversion； bridgeresistance；chargebalance EEACC：7220 doi：10．39690．issn．1004-1699．2016．02．002 基于V．F变换的硅压阻压力传感器的处理电路 张燕琴，邢维巍 ，景 标 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 100191) 摘 要：针对硅压阻压力传感器提出了一种基于电桥本身参数的温度 自补偿方法，并设计了一种差分输入、双参数输出的高 精度处理电路用以获得电桥参数。该电路用简单元件搭建差分输入的电荷平衡式 V／F转换器，根据不同组态的频率输出解算 电桥参数。该电路巧妙地利用差分输入方式消除了共模电压引起的误差，巧妙借用参考电阻消除了基准频率的影响，最终的 输出频率只与被测量和参考电阻有关。经实验验证，电桥电阻的测量精度能达到O．0068％，经补偿后的压力传感器精度可达 0．039％，相比补偿之前提高了一个数量级。 关键词 ：硅压阻压力传感器；温度 自补偿；v—F变换；电桥电阻；电荷平衡 中图分类号：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(201