基于PANI／PdO复合薄膜的压电甲烷传感器.pdfVIP

2011年 第3O卷 第8期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 53 基于 PANI／PdO复合薄膜的压 电甲烷传感器 李 影，童敏明，唐守锋 (中国矿业大学 信息与电气工程学院，江苏 徐州221008) 摘 要：研究了一种基于压电原理的甲烷传感器。运用化学氧化聚合法和层层 自组装法制备了对甲烷气 体敏感的PANI／PdO复合薄膜，通过溅射工艺将薄膜生成在压电材料上，利用敏感薄膜对甲烷的吸附改变 晶振频率，从而检测出甲烷气体的含量。实验表明：压电甲烷传感器具有较好的选择性 ，在0％-2％的甲 烷体积分数范围内具有较好的线性输出。 关键词：聚苯胺；复合薄膜；压电传感器 ；甲烷气体 中图分类号：TP212．2 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)08-0053--03 A piezoelectricmethanesensorbasedonPANI／PdO compositethin film LIYing，TONG Min—uring，TANG Shou—feng (SchoolofInformationandElectricalEngineering，ChinaUniversityofMiningandTechnology， Xuzhou221008，China) Abstract：A kindofmethanesensorbased Oilthe principleofpiezoelectricity isdeveloped．ThePANI／PdO compositethinfihn isfabricated bychemicaloxidativepolymeriz~ionofanilinewithPdO nanoparticles，andthe PANI／PdO thinfilmswhichissensitivetomethaneisfabricatedthroughlayer—by—layerself-assemblymethod．The film isdepositedonthepiezoelectricmaterialbysputtering．ItaccomplishesthedetectionofCH4bytheabsorption ofCH4whichcanchangetheoscillationfrequencyofthepiezoelectriccrysta1．Theexperimentalresultsshow that thesensorhasgoodselectivity．Andtheoutputofthesensorhasgoodlinearrelationshipwiththevolumefraction rangeofCH40％一2％ ． Keywords：polyaniline(PANI)；compositethinfilm；piezoelectricsensor；methanegas 0 引 言 原料价格低廉 、性质稳定 、具有独特的掺杂机制、优异的物 众所周知，瓦斯是煤矿爆炸事故的元凶，矿井瓦斯监测 理化学性能、易于加工和成膜，且所成的膜柔软、弹性好、具 是减少或避免瓦斯爆炸事故的有效手段 ，因为瓦斯的主要 有较高的储存电荷能力、较好的电化学性能和气体分离性 成分是甲烷气体 ，因此，甲烷传感器是目前瓦斯监测的关键 能，有广阔的应用前景，因而得到了较多的关注 。然而， 器件。 单一的PANI由于本身结构存在缺陷而限制了其实际应 由于矿井应用的各种甲烷传感器性能不尽人意