Ag／SiO2复合薄膜的表面等离子体共振吸收研究.pdfVIP

第42卷第 12期 应 用 化 工 Vo1．42No．12 2013年 12月 AppliedChemicalIndustry DeC．2013 Ag／SiO2复合薄膜的表面等离子体 共振吸收研究 李哲，赵亚丽，鞠军燕 (中国电子科技集团第三十三研究所，山西 太原 030006) 摘 要：用射频磁控溅射法制备了Ag／sio 复合薄膜，通过改变沉积顺序和退火时间，制备不同形貌的金属颗粒复 合薄膜，分析了颗粒形貌对表面等离子体共振吸收特性的影响。结果表明，当SiO 纳米颗粒镶嵌在Ag膜中，同Ag 纳米颗粒镶嵌在 SiO 中一样，也同样产生明显的表面等离子体共振吸收。 关键词：复合薄膜；退火；共振吸收 中图分类号：TO171．7 文献标识码：A 文章编号：1671—3206(2013)12—2188—03 Surfacepla