线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究.pdfVIP

Techn0l0gyandTesf工艺与检测 线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究 侯 贺① 李金杰② (①大连连城数控机器有限公司，辽宁 大连 116036； ②大连机床集团有限责任公司，辽宁 大连 116020) 摘 要：线切割机对硅片切割能力的强弱，与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片 切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度 等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度，才能在切割过程中提高切割效率和成品率。 关键词：砂浆粘度 硅片切割液 碳化硅微粉 中图分类号：TH140．7 文献标识码 ：B Researchonmixofthelinecuttinglist，thepolycrystallinesiliconenginebedmortarfluid HOU He① LIJinjie② ， ((~)DalianlintonNCmachineCo．，Ltd．，Dalian116036，CHN； @DMTG，Dalian116022，CHN) Abstract：ThelinecuttertothesiliconchipcuttingabilitySstrongandtheweak，hastheinalienablerelationswith themortarviscosity．Butthemortarviscosityisdecidedbythesiliconchip cuttingfluidviscosity，the silicon chipcuttingfluidandsiliconcarbidefinepowderadaptive，thesiliconchipcutsthefluidandthe siliconcarbidefinepowderallocatedproportionproportion，themortardensityandSOon．Onlythena— chievesthemortarviscosityofthemachinerequeststandardtobeableinthecuttingprocess，thecutting efficiencyandtherateoffinishedproductscanberaised． Keywords：MortarViscosity；SiliconChipCuttingFluid；SiliconCarbideFinePowder 太阳能硅片的线切割机理就是机器导轮在高速运 1．125kg／L；砂浆的密度为 (1+1．125)／(1+O．3125) 转中带动钢线，从而由钢线将聚乙二醇和碳化硅微粉 = 1．619 kg／L。 混合的砂浆送到切割区，在钢线的高速运转中与压在 以上是大连连城数控机器有限公司的调配比例。 线网上的工件连续发生摩擦，完成切割的过程。在整 1．2 砂浆调配和使用中的注意事项 个切割过程中，对硅片的质量以及成品率起主要作用 (1)碳化硅磨料要保持干燥 ，使用前应把碳化硅 的是砂浆液的粘度、碳化硅微粉的粒型和粒度、砂浆的 磨料存储在60 的炉子里至少24h。 流量、钢线的速度、钢线的张力以及工件的进给速度 (2)浆液的备制，至少在使用前24h把浆准备好。 等。本文对砂浆液调配做 以下研究。 (3)砂浆不能有沉积，要经常检查浆箱是否有沉 积，在每次切割前要检查各管