多晶硅水性切削液除硅研究.pdfVIP

第39卷第8期 应 用 化 工 V0】．39No．8 2010年8月 AppliedChemicalIndustry Aug．2010 多晶硅水性切削液除硅研究 胡庆波，彭奇均 (江南大学 化学与材料工程学院，江苏无锡 214122) 摘 要：以废切削液回收PEG后剩余的废砂为原料，采用酸溶和碱溶两种方法除去废砂中的多晶硅杂质，回收 SiC 微粉，并对两种方法的可行性及工艺条件进行了研究。结果表明，酸法除硅时，当HF浓度为4mol／L，硝酸浓度为 2mol／L，温度为35℃，反应时间为70min时，可使回收微粉中硅杂质含量在0．1％一0．2％。碱法除硅时，当NaOH 的溶液3％左右 ，温度在7O℃，反应时间2h，可使回收微粉中硅杂质含量在0．2％～0．3％。粒度分析表明，酸法及 碱法回收产品粒径分布均能满足指标要求 ，且碱法回收产品粒径分布与新砂一致。 关键词：废砂；碱法；酸法；粒度分析 中图分类号：TQ174．9 文献标识码：A 文章编号：1671—3206(2010)08—1140—05 Removesiliconfrom water-basedpolycrystallinesiliconcuttingfluid HUQ 一bo，PENGQi-jun (CollegeofChemicalandMaterialsEngineering，JiangnanUniversity，Wuxi214122，China) Abstract：AfterthePEGhadbeenrecycledfrom cuttingfluid，hteremainingwastematerialswereusedas rawmaterialsforthisstudy．Boht acidandalkalimethodsofdissolvesiliconwereusedtorecyclesilicon carbidepowdem．Alsohtefeasibilityandconditionsoftwomethodswerestudied．Theresultsshowedthat whentheHFconcentrationiS4mol／L，nitricacidconcentrationis2mol／L，temperatureis35oC，reaction timeis70rain．hterecyclingcontentofsiliconpowdercanreachaslow as0．1％ ～0．2％ ；andfortheal— kalimethod，whenNaOH solutionconcentrationiS3％ ，出etemperatureiS70℃ ，reactiontimeiS2h，t}Ie recyclingcontentofsiliconpowdercallreachaslow as0．2％ 一0．3％．Recycledpowderproductsgotby wtomethodshadbeenanalyzedby sizedistribufion．andbo￡}l0f￡}lem cna meettherequirements．The productgotfrom alkalimethodiSfamiliarwithnew SiCsandinsizedistribution． Keywords：wastesand；alkalimehtod；acidmethod；particlesizeanalysis 多晶硅水性切削液在用于多晶硅的线切割加工 1 实验部分 过后，引入了硅屑，得到黑色粘稠状悬浮液(废切削 1．1 试剂与仪器 液)，使得切削液中微粉的组成、粒径、硬度均不满 碳化硅新砂，工业品；废砂 (废切削液固液分离 足标准 ¨ ，造成切削