膜层折射率膜厚计算.docVIP

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膜层折射率膜厚计算

膜 層 特 性 鍍膜的光學厚度為波長(簡稱 QWOT ) 或 波長(簡稱 HWOT )的整數倍時,特徵矩陣 將簡化許多,並且在實際設計上也常常應用,因此,鍍膜符號通常是以或 波長表示膜層厚度,例如簡寫 H、M、L的鍍膜係指膜厚波長的高、中、低折射率膜層;同理, HH ,2H,H2 MM ,2M,M2 ?? LL ,2L,L2 則分別代表膜厚波長的高、中、低折射率膜層 ??????? 例如,光從空氣 n0 = 1垂直入射於基板 ns = 1.52的鍍膜系統,若膜層採用QWOT方式,即 此時 特徵矩陣 為 由上式計算 導納 : 舉例 一 鍍膜狀況:??? ,nL = 1.38,= 0 ?導納: 反射率:?? 可是單層低折射率鍍膜,在設計波長時具有降低反射率的效果,因為未鍍膜的基板反射率為 ????? 舉例 二 鍍膜狀況:??? ,nH = 2.35,= 0 ?導納:???? 反射率: 可是單層高折射率鍍膜的導納值更遠離 1,致反射率不降反升。 HWOT ??????? 若膜層採用HWOT方式,即 此時 特徵矩陣 為 由上式計算 導納 : 因此,不管此單層膜是低折射率或高折射率材料,反射率均與基板反射率相同,即?? ??? 顯見基板鍍上半波長單層膜,在設計波長時,其效果如同未鍍膜一般,故稱 無效層

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