原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
氮化硅晶须对反应烧结氮化硅多孔陶瓷介电性能的影响_胡汉军
: 109
＊
胡汉军, 周万城, 李坊森, 罗 发, 朱冬梅, 徐 洁
( , 710072)
: 以硅粉和氮化硅晶须为原料, 通过添加 , 。 ,
30%( 量分数)成孔剂球形颗粒, 以聚乙烯醇作粘结 , , ,
剂, 采用干压成型工艺, 反应烧结制备了多孔氮化硅陶 。 (4)
瓷, 分析对比了氮化硅晶须对反应烧结氮化硅多孔陶 30℃20min , ,
瓷介电性能的影响。 实验结果表明, 随着氮化硅晶须 40MPa 70mm×5mm ;(5)
加入量的升高, 氮化硅多孔陶瓷的介电常数和介电损 200℃, 95%N2 +5%
耗都升高, 介电性能恶化。 H2 0.1MPa ,
: ;;; 0.3℃/min 1380℃,
: TQ174 :A 。
:1001-9731(2009)01-0109-03 2.3
Archimede 。 OLYM-
1
P S PMG3 。
, (SEM, Model S-570, Hitach)
, 。 22.86mm×10.16
, , mm×(2.0±0.1)mm , E8362B
[1, 2]
。 , (:8.2～ 12.4GHz)。
, :
。 ε= ε′-j ε″
, , :
, ε″
tan δ=
[ 3～ 5] ε′
, 。 Si
, (), ε′。
, 60%, 3
, 800μm ,
。 3.1
1 30%,
2
3。
2.1 1
Si ( 24μm, ≥99.95%( Table 1 Experiment prescription
));α-Si3N4 , ( 800μm, 编号 硅粉 氮化硅(%)
);(PVA, 1000, 20%); 1 97 3
N2 (
文档评论（0）