- 1、本文档共1页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
三维共聚焦表面形貌仪PhaseShiftMicroXAM-3D
三维共聚焦表面形貌仪
PhaseShiftMicroXAM-3D
用于测量表面粗糙度、精加工表面纹理,测量范围从高度
抛光的光学件直至粗糙表面;如:扎制的钢材、塑料、纸
张、陶瓷和硅晶片等。
备有光学显微镜及不同目镜;高分辨率的摄像机可自动调
焦测出752×480个数据点。
使用光学干涉法进行定量测量,可采用目视和共焦两种模
式操作。
使用所提供的绘图和分析软件,可获得优化表面纹理图像,
并生成三维干涉断面图。
3 Dimensional Confocal Microscope Phase Shift MicroXAM-3D MicroXAM-3D can measure the surface profile and surface
roughness of polished optical elements and rough metal surfaces,
分辨率 752×480像素(可选1K×1K)
such as the milled steel, plastics, ceramics and the silicon disks.
XYZ行程 100mm×100mm×100mm
RMS重复精度 1nm The surface patterns and the 3D interference cross section
垂直扫描范围 30um 100um 5mm10mm figures can be acquired by the provided graphic and analysis
垂直扫描分辨率 最小可到0.01nm tools. The optical interference method is used to achieve
数据采集速度 标准型:2.1um/sec. quantitative measurement, visual and confocal modes are both
侧向分辨率 0.11-8.8um provided.
视场范围 8mm×10mm-0.084mm×0.063mm Optical microscope and different eyepieces are provided.
校正精度 0.1% 752 ×480 data can be acquired by automatic focusing in high
反射率要求 1%—100%
precision camera.
您可能关注的文档
最近下载
- 沪教版七年级数学上学期考试满分全攻略第10章分式【单元提升卷】(沪教版)(原卷版+解析).docx VIP
- 学生心存感恩主题国旗下讲话稿.docx VIP
- 《妇幼保健学》课件——第十二章 围绝经期保健.pptx VIP
- 2024年全国职业院校技能大赛中职组(舞蹈表演赛项)考试题库(含答案)_已识别.pdf VIP
- 译林四上 Project1 教学课件.ppt VIP
- 乳腺癌的护理常规课件.pptx
- 2023年驾培相关项目运行指导方案.pdf VIP
- 个案工作 第八章-儿童辅导.pptx VIP
- 2024年山西航空产业集团有限公司人员招聘考试题库及答案解析.docx
- 运动解剖学(李世昌)第4章 消化系统.ppt VIP
文档评论(0)