波谱仪和能谱仪.pdf

第 5 卷 第 2 期 分析测试技术与仪器 Volume 5 Number 2 1999 年 6 月 ANAL YSIS AND TESTIN G TECHNOL O GY AND IN STRU M EN TS J une 1999 ( ) 研究报告 115～119 波谱仪与能谱仪性能的比较 徐乐英 刘志东 尚玉华 ( 中国科学院金属研究所 沈阳 1100 15) 摘 　要 :用实验测量数据对波谱分析与能谱分析这两种技术在元素定性与定量分析方面的性能差异进行了比较 ,说 明各自的长处与不足 ,为材料科学工作者在分析测试中如何选择提供参考 。 关键词 :波谱仪 ;能谱仪 ;定性分析 ;定量分析 ;超轻元素 中图分类号 :O657 7 　　　　文献标识码 :A 　　　　文章编号 ( 1999) 020 11505 ( ) 　　电子探针仪中所用的波谱仪 WD S 和通常在扫 硬脂酸铅晶体分光 ,对氮 、氢等元素的探测效率较 ( ) 描电镜中使用的能谱仪 ED S 是进行微区成分分析 低 ,现在使用人工沉积的多层膜晶体 ,使探测效率提 ( ) 的两种技术 。它们的功能虽然相同 ,但二者的仪器 高很多 。图 1 显示了用硬脂酸铅晶体 STE 与 WC ( ) 结构 、分析原理都不相同 ,各具长处与不足 。有人对 多层膜晶体 LD EB 对硼元素的测试结果 。二者的 其进行过评述[ 1 ] 。近年来 , 由计算机技术的飞速发 实验条件相同 , 图的纵坐标为 X射线强度 。可以看 展 ,仪器的自动控制和数据处理水平前进了一大步 , 到 ,用多层膜测得的强度比硬脂酸铅提高了五倍多 , 从而使定性分析的速度和定量分析准确度大大提 峰背比改善更大 ,对其它超轻元素的测量都有类似 高 。特别是能谱 ,应用了先进的计算机技术 , 出现了 的改进和提高 。早期的能谱仪只能分析原子序数大 两种倾向:一种认为能谱仪可完全取代波谱 ,从而舍 于 11 的元素 ,现在用超薄窗或无窗探测器也可以测 弃了波谱分析 ;另一种则仍然停留在过去的观点 ,认 至硼元素 ,但它的峰值靠近零峰 ,若背景测量和扣除 为能谱只能作定性分析 ,定量分析只能采用波谱仪 。 不当的话 ,峰背比会很低 ,影响测量准确度 。 为了对这两种技术的发展情况有确切的认识 ,而不 1. 2 　定性分析速度与探测灵敏度 至于停留在 70 年代的观点评价它们 。为此 ,我们精 相比之下 ,能谱仪的分析速度具有较大的优势 , 心制备了几种样品 ,用 目前世界上最新型号的仪器 通常在 1 min 内可获得全部谱线 。前期的电子探针 进行测试 ,即在 日本岛津和电子两家公司的实验室 仪 ,用波谱扫描进行全分析 ,需要几十分钟 。而现在 分别用 EPMA1600 型和 J XA8600 型的电子探针 的仪器 ,扫描速度大大提高了 ,例如岛津公司的 EP 仪完成了波谱分析 ,用金属所 1996 年引进的英国牛 MA1600 型电子探针仪 ,作一次全谱扫描只需要 6 津公司的 ISIS300 能谱仪进行能谱测试 ,然后以实