薄膜的破裂与脱层.pdfVIP

年 薄 膜 的 破 裂 与 脱 层 美 · 公 司总部 薄膜 的破 裂与脱 层 是 比较常 见 的 问题 。 这种 机械缺 陷 的预 防对 成 功 地 制作 薄膜 。 器 件 来说是致 关 重要 的 内部 弹性应 力是 薄膜 淀 积 过程 中的 固有 因素 , 是 导致这 种 。 薄膜 机械缺 陷 的主要 原 因 然 而 , 对 薄膜 的破 裂或 脱 层 起控 制 作 用 的并非 薄膜 应 力 。 的 大 小 , 而 是存贮 在 薄膜 中的弹 性 能 本 文 的 目的在 于指 出 薄膜 和 基 片 的机 。 。 械稳 定性要 求 小 于 临界 值 , 取 决 于表 面 能 夕 畸变得到释放 。 但是我们不在本文 中讨论 这 、 一 前 言 种应 力释放模 式 。 薄膜 中出现 的弹性应 力是淀积过程 的 固 存贮 在 厚度 为 的单位表面 积 中的弹性 有 因素 , 这种应 力可 能是拉应 力也可能是压 能 可表达 为 。