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超精密平台的控制
中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月
20 12 2009 6
超精密运动台激光测量模型及误差补偿算法
滕 伟 周云飞 穆海华 杨亮亮
暋
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华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心 武汉 430074
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摘要 分析激光测量中阿贝误差与余弦误差产生的原因 分两种情况讨论阿贝误差与余弦误差对测
: ;
量光程的影响 一是忽略激光干涉仪加工误差与安装误差的理想模型 二是考虑干涉仪加工误差与安装
。 , 、
误差的非理想模型 计算两种情况下测量光束的光程长度 建立xy方向直线测量位置不受运动台倾
, 。
斜或旋转影响的测量模型 进而推导出运动台五自由度激光测量算法 实例证明该算法能有效地进行
, 。 。
阿贝误差与余弦误差补偿 满足超精密运动的要求 该算法已成功应用于半导体加工设备中
: ; ; ;
关键词 激光测量 阿贝误差 余弦误差 误差补偿
中图分类号: 文章编号: — ( ) — —
TP391暋暋暋 1004 132X200912 1492 06
AnAlorithmonLaserMeasurementModelof
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Ultra- recisionMotionStaeandErrorCom ensation
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Huazhon UniversitofScienceandTechnolo Wuhan430074
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AbstractThereasonsofAbbeerrorandcosineerrorwereanalzedinlasermeasurement.Then
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theeffectofAbbeerrorandcosineerroronmeasurementoticalathwasdiscussedastwoinstances:
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anidealmodelofinterferometerwithoutrotationtiltan
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