多晶硅冷氢化FBR反应器生产概述.pdfVIP

学兔兔 石油和化工设备 一 26一 2011年第14卷 多晶硅冷氢化FBFI反应器生产概述 何志华，陈文吉 (大全新能源有限公司，重庆 404000) [摘 要]对多晶硅冷氢-fk~_T-艺进行了简要描述，对冷氢化核心设备FBR反应器用镍合金材料的国内外标准、化学成分、温 度特性与综合性能进行 了阐述，对FBR反应器的设计、制造工艺、检验要求及加工关键点进行 了总结 [关键词]多晶硅；冷氢I~FBR反应器；镍合金；焊接应力；晶间裂纹；生产 多晶硅材料是 以金属硅为原料经一系列物 和压力较低，一次转化率高，但反应物 中氢气含 理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料，是 量较高。 硅产 品产业链中一个极为重要的中间产品，是制 Ingle等的氯氢化技术 反应介质：金属硅 造硅抛光片、太 阳能 电池及高纯硅制 品的主要 粉 、氢气、四氯化硅、氯化氢 。反应分两步进 原料 ，是半导体、电子信息业 、太阳能光伏 电池 行，第 步‘反应温度 ：550～650℃，反应压力： 业最基础 的功能性材料。随着上述产业的飞速发 43～3450kPa．G，第二步反应温度 ：3l0～340℃， 展，市场上多晶硅资源极为紧缺 ，价格一路飙 反应压力：l70～415kPa．G．。四氯化硅和氢气摩尔 升，建造大型多晶硅装置成为 国内投资者的首 比：1：1～1：3。氯化氢体积含量为第一步反应 出口 选 。我国多晶硅业起步较晚，大多采用传统的或 混合气体体积的50％，催化剂：氯化亚铜，三氯氢 改 良西门子法技术 ，在大型多晶硅企业运营的同 硅一次转化率为21～23~,0。其主要反应如下： 时，随之产生的多晶硅副产物一 四氯化硅的处理 第一步的主反应为： 成为多晶硅产业发展的一道难题 ，使多晶硅业戴 3SiCL4+2H2+Si— 4SiHCL3 上了高污染、高能耗的帽子。为此，国内外都在 努力探索有效利用 四氯化硅 的理想途径 。其中， 第二步的主反应为： 氯氧化技术作为一条实现多晶硅产业密闭循环的 Si+3HCL— SiHCL3+H2 有效途径，开始得到越来越多业内人士的认可。 该方法在传统冷氢化 的基础上通入 了氯化 FBR反应器作为氯氢化技术 的核心设备 ，设 氢，将多晶硅 的还原副产物四氯化硅和氯化氢都 计是否合理 、选材是否得 当、制造质量是否保 利用起来，提高了硅粉的利用率和三氯氢硅的收 证 ，直接影响其使用性能，更是多晶硅生产成败 率 。 之，举 。 中国华陆工程公司开发的氯氢化技术p]。反应 lFBR反应器简介 介质：金属硅粉、氢气、四氯化硅、氯化氢 。反 应温度：500～600℃，反应压力：1．5～2．5MPa．G， 1．1工艺描述