氮偏压对α-GaAs_（1-x）N_x薄膜性能的影响.pdf

第 41卷第 4期 应 用 化 工 Vo1．41No．4 2012年4月 AppliedChemicalIndust~ Apr．2012 氮偏压对 一GaAs1一 薄膜性能的影响 张丽明，王莹 (商丘职业技术学院，河南 商丘 476000) 摘 要：采用磁控溅射方法在硅片上制备了不同氮偏压下的非晶GaAs。…N薄膜，结合拉曼光谱仪和椭偏仪等手 段对样品进行了表征。结果表明，掺入氮气后，-GaAs薄膜的拉曼光谱有明显变化；随着氮偏压的升高，-GaAs