热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响.pdfVIP

维普资讯 学兔兔 第1期 (总第146期) 机 械 工 程 与 自动化 NO．1 2008年 2月 MECHANICAL ENGINEERING ＆ AUTOMATION Feb． 文章编号：1672—6413(2008)01—0122—03 热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响 张丽娜，张敏刚，杨 扬，刘小鹏，衣美卿 (太原科技大学 材料科学与工程学院，山西 太原 030024) 摘要：采用磁控和离子柬联合溅射法制备了NdFeB／a—Fe／NdFeB系列纳米复合多层膜，研究了热处理温度对 薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。 关键词：磁控溅射；离子束溅射；多层膜；热处理；磁性能 中图分类号：TG15 文献标识码：A 0 引言