工业四氯化硅四级精馏的研究.pdfVIP

第45卷第3期 当 代 化 工 Vo1．45．N0．3 2016年 3月 ContemporaryChemica]Industry March．20I6 工业四氯化硅四级精馏的研究 周玲英，相文强 (新特能源股份有限公司，新疆 乌鲁木齐 830011) 摘 要：高纯四氯化硅是热氢化 、催化氢化 、等离子氢化、光纤生产的原料，其品质要求达到 9N。在改 良西门子法生产多晶硅过程中，副产物工业四氯化硅 ，其中的各项金属杂质，硼磷杂质含量较高，并且含有高 聚物，硅粉。采用常规的精馏法，吸附法，易出现堵塞，采用络合法，易出现络合剂分离不开的问题。通过采 用四级精馏，一级脱重，去除其中的高聚物和大量的金属杂质，二级再脱重，去除金属