靶材发展与应用幻灯片〔完整版〕.pptVIP

国内溅射靶材发展与应用 深圳市矽谷溅射靶材有限公司 周鸿奎 高端靶材由国外公司垄断 装饰，工模具镀膜行业靶材 铬靶（Cr），平面铬靶，喷涂铬管。 铬硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧，平面靶，旋转管靶） 钛铝靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（电弧，平面靶，旋转管靶） 钛铝硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(电弧，平面靶，旋转管靶） 钛靶，钛管靶，锆靶 金靶，玫瑰金靶， 石墨靶，镍靶，铝靶，不锈钢靶等 太阳能光伏光热行业靶材 氧化锌铝靶ZAO 硅靶 钛靶，氧化钛靶 铝靶 铬靶,镍铬 锌铝，钨，钼靶等 建筑汽车玻璃大面积镀膜 硅铝靶，旋转硅铝靶 氧化钛靶 锡靶 铬靶 硅靶 钛靶，不锈钢靶。 平面显示行业 ITO靶 二氧化硅靶 高纯硅靶5-7N 高纯铬靶3N5 TFT钼靶 钼铌靶 钨钛靶90/10wt% 高纯铝靶等 光学，光通信，光存储行业 银靶 钽靶 硫化锌靶 高纯铝靶 硅靶 常用靶型 靶材利用率比较 平面靶材提高利用率方式1 平面靶材提高利用率方式2 靶材性能与要求 靶材直接影响着薄膜的物理、外观、力学等性能，因而对靶材质量的评判较为严格，主要应满足如下要求: 杂质及氧含量低、纯度高。 致密度高 成分与组织结构均匀。 晶粒尺寸细小。 劣质靶材缺陷1 劣质靶材缺陷2 钛铝靶材应